应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 功能薄膜 » 磁控溅射制备氧化铝Al2O3薄膜
51/1返回列表
查看: 5168  |  回复: 11
只看楼主 @他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看
当前只显示满足指定条件的回帖，点击这里查看本话题的所有回帖

liuyuexue

金虫 (小有名气)

[求助] 磁控溅射制备氧化铝Al2O3薄膜 已有1人参与

有用过磁控溅射（最好是沈科仪的）做氧化铝薄膜的吗？衬底是陶瓷材料。用铝靶通氧气反应溅射和直接溅射氧化铝靶材哪种好？有何区别？能否长出晶态薄膜？
回复此楼

» 收录本帖的淘帖专辑推荐

薄膜制备与特性

» 猜你喜欢

» 本主题相关商家推荐: (我也要在这里推广)

» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:
tomorrowisanotherday
1楼 2017-03-01 10:15:16
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

zengbinjian

铜虫 (正式写手)
两种都可以，要结晶的话可能还要退火

发自小木虫Android客户端
赞一下 回复此楼
4楼2017-03-05 12:15:12
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 12 个回答

匿名

用户注销 (小有名气)
感谢参与，应助指数 +1
本帖仅楼主可见
赞一下
3楼2017-03-03 21:43:32
已阅   申请FPI   回复此楼   编辑   查看我的主页

故乡的一抹风

新虫 (小有名气)
我也是要做氧化铝的。。我最近看的文章也是用的沈科仪的设备，里面研究溅射功率和沉积速率的关系图。我想问一下沉积速率是怎么得到的？我用的仪器是北京中方盖德的。
赞一下 回复此楼
5楼2017-03-08 10:15:12
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

故乡的一抹风

新虫 (小有名气)
我也是要做氧化铝的。。我最近看的文章也是用的沈科仪的设备，里面研究溅射功率和沉积速率的关系图。我想问一下沉积速率是怎么得到的？我用的仪器是北京中方盖德的。
赞一下 回复此楼
6楼2017-03-08 10:20:34
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 12 个回答
普通表情 龙 兔 虎 猫
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭