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liuyuexue金虫 (小有名气)
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[求助]
磁控溅射制备氧化铝Al2O3薄膜已有1人参与
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| 有用过磁控溅射（最好是沈科仪的）做氧化铝薄膜的吗？衬底是陶瓷材料。用铝靶通氧气反应溅射和直接溅射氧化铝靶材哪种好？有何区别？能否长出晶态薄膜？ |
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 薄膜制备与特性 |
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zengbinjian
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