磁控溅射制备氧化铝Al2O3薄膜 - 功能材料 - 功能薄膜 - 第2页小木虫论坛-学术科研互动平台

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yangyu1995

银虫 (初入文坛)

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专业: 金属材料表面科学与工程

引用回帖:

9楼: Originally posted by 很闪很闪 at 2017-03-08 18:41:55
同问，增大溅射靶功率和偏压，能不能做出结晶的氧化铝？

这两个是可以的

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11楼2017-04-13 16:59:02

已阅回复此楼关注TA 给TA发消息送TA红花 TA的回帖

逆流成河126

新虫 (小有名气)

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注册: 2018-06-07
专业: 电化学

请问，铝靶溅射是的压力是多少帕

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12楼2019-05-16 21:51:47

已阅回复此楼关注TA 给TA发消息送TA红花 TA的回帖

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