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仰望天花板

新虫 (小有名气)

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专业: 电化学

[求助] 有关MOCVD生长GaN工艺问题已有1人参与

蓝宝石衬底上外延GaN典型的生长工艺：衬底在H2中热处理的温度和时间分别为1100℃、10min;缓冲层生长温度为620℃，生长时间为110s；缓冲层生长完成后衬底温度在10min内升至外延层生长温度（1060℃-1100℃）；外延层生长过程中，Ga源的流量为54μmol/min，氨气为4.0L/min。缓冲层与外延层的生长压力均为760Torr。材料生长完成后，外延层以1℃/s的速度将至900℃，然后随炉冷却至室温。
请问：1、为什么一开始要对Al2O3进行热处理？
2、为什么要在10分钟内升至外延层生长温度（1060℃-1100℃）？
3、为什么要在材料生长完成后，外延层以1℃/s的速度将至900℃？然后随炉冷却至室温？@jackdeng

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1楼 2016-12-08 22:33:31

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DDQ01

铜虫 (小有名气)

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【答案】应助回帖

1、为什么一开始要对Al2O3进行热处理？
是H2处理，对衬底进行表面清洁
2、为什么要在10分钟内升至外延层生长温度（1060℃-1100℃）？
10min是加热功率决定的，大概需要10min，不是说，必须10min。
3、为什么要在材料生长完成后，外延层以1℃/s的速度将至900℃？然后随炉冷却至室温？
基本没有影响，直接降温就可以。