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junglegirl

铁杆木虫 (小有名气)

[求助] 磁控溅射镀钴锆薄膜

用磁控溅射中直流溅射这两个金属靶（靶材都是单质靶），使两靶共溅射.硅片为衬底.为什么测试xrd没有想要的峰？

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[ Last edited by qfw_68 on 2016-12-8 at 13:35 ]
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薄膜制备与特性

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1楼 2016-12-07 20:14:53
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回帖支持 ( 显示支持度最高的前 50 名 )

qfw_68

版主 (文坛精英)

有尾巴的青蛙

【答案】应助回帖

可能是这几个原因：1）金属钴有磁性，但未使用强磁磁控靶，导致膜中钴含量太低；2）退火温度不够，导致未形成合金相；3）结晶度不够，无衍射峰；4）膜太薄，峰太弱。
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没有困难创造困难也要上网。
6楼2017-01-04 09:07:24
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普通回帖

junglegirl

铁杆木虫 (小有名气)
没有钴锆的合金相，也经过退火处理了

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2楼2016-12-07 20:16:00
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hya1968


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3楼2016-12-07 20:41:36
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蚊子咬了猪猪

铜虫 (小有名气)
两个可能原因，1.没有结晶或者结晶度不好。2.单晶硅的峰太强，讲样品的峰完全掩盖

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4楼2016-12-19 23:51:26
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junglegirl

铁杆木虫 (小有名气)
引用回帖:
4楼: Originally posted by 蚊子咬了猪猪 at 2016-12-19 23:51:26
两个可能原因，1.没有结晶或者结晶度不好。2.单晶硅的峰太强，讲样品的峰完全掩盖

我在测xrd完全避开了单晶硅的最强峰，但出来的相也不是自己想要的，在好好做做吧！谢谢你

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5楼2017-01-04 08:49:50
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junglegirl

铁杆木虫 (小有名气)
引用回帖:
6楼: Originally posted by qfw_68 at 2017-01-04 09:07:24
可能是这几个原因：1）金属钴有磁性，但未使用强磁磁控靶，导致膜中钴含量太低；2）退火温度不够，导致未形成合金相；3）结晶度不够，无衍射峰；4）膜太薄，峰太弱。

你好，你也做过钴镐的磁性薄膜么？

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7楼2017-01-05 09:06:50
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qfw_68

版主 (文坛精英)

有尾巴的青蛙

【答案】应助回帖

引用回帖:
7楼: Originally posted by junglegirl at 2017-01-05 09:06:50
你好，你也做过钴镐的磁性薄膜么？
...

没有，但我比较了解磁控溅射以及薄膜的制备和分析。
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没有困难创造困难也要上网。
8楼2017-01-05 09:59:32
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junglegirl

铁杆木虫 (小有名气)
引用回帖:
8楼: Originally posted by qfw_68 at 2017-01-05 09:59:32
没有，但我比较了解磁控溅射以及薄膜的制备和分析。...

我能加你么

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9楼2017-01-06 08:22:58
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qfw_68

版主 (文坛精英)

有尾巴的青蛙

【答案】应助回帖

引用回帖:
9楼: Originally posted by junglegirl at 2017-01-06 08:22:58
我能加你么
...

站内信直接问我就可以了。
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没有困难创造困难也要上网。
10楼2017-01-06 09:15:23
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