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磁控溅射镀钴锆薄膜
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用磁控溅射中直流溅射这两个金属靶（靶材都是单质靶），使两靶共溅射.硅片为衬底.为什么测试xrd没有想要的峰？ 发自小木虫IOS客户端 [ Last edited by qfw_68 on 2016-12-8 at 13:35 ] |
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 薄膜制备与特性 |
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