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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 网络生活区 » 有奖问答 » 实验讨论 » 磁控溅射镀钴锆薄膜
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wx05351230

铁虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

引用回帖:
8楼: Originally posted by qfw_68 at 2017-01-05 09:59:32
没有，但我比较了解磁控溅射以及薄膜的制备和分析。...

你好，麻烦咨询个磁控溅射问题：三个靶共沉积贵金属镀层，常温状态，基底旋转，有偏压。在同一基底上沉积的镀层却呈现几种不同的状态。比如正常的柱状晶粒堆积，异常的状态有丘疹状堆积，有花瓣状堆积，单个靶也溅射了，没发现问题，不知道是什么原因导致这样，请问你遇到过此类问题吗？或者有什么可能的探究方向？谢谢
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经世致用
11楼2019-12-18 17:52:28
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qfw_68

版主 (文坛精英)

有尾巴的青蛙
原因1，溅射分布的不均匀；原因2，加热温度分布的不均匀；原因3，基底材质不均匀或表面处理得不均匀。

发自小木虫Android客户端
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没有困难创造困难也要上网。
12楼2019-12-20 17:24:08
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