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wx05351230

铁虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

引用回帖:
8楼: Originally posted by qfw_68 at 2017-01-05 09:59:32
没有,但我比较了解磁控溅射以及薄膜的制备和分析。...

你好,麻烦咨询个磁控溅射问题:三个靶共沉积贵金属镀层,常温状态,基底旋转,有偏压。在同一基底上沉积的镀层却呈现几种不同的状态。比如正常的柱状晶粒堆积,异常的状态有丘疹状堆积,有花瓣状堆积,单个靶也溅射了,没发现问题,不知道是什么原因导致这样,请问你遇到过此类问题吗?或者有什么可能的探究方向?谢谢
经世致用
11楼2019-12-18 17:52:28
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qfw_68

版主 (文坛精英)

有尾巴的青蛙

原因1,溅射分布的不均匀;原因2,加热温度分布的不均匀;原因3,基底材质不均匀或表面处理得不均匀。

发自小木虫Android客户端
没有困难创造困难也要上网。
12楼2019-12-20 17:24:08
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