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5205366

铜虫 (正式写手)

[求助] 请问磁控溅射一定要求靶材表面抛光吗? 已有1人参与

如果不是光亮表面会怎样?谢谢!
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5205366

铜虫 (正式写手)

2楼2016-12-06 12:50:45
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ywslx

至尊木虫 (著名写手)

3楼2016-12-06 12:59:35
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5205366

铜虫 (正式写手)

引用回帖:
3楼: Originally posted by ywslx at 2016-12-06 12:59:35
不需要

我抛光了,但抛的不是特别好,结果试了下,膜非常差,一点都不连续
4楼2016-12-06 13:48:33
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学无止境YAO

银虫 (小有名气)

我感觉不需要抛光,新靶材多用几次才能开始做实验,而且每次做也得预溅射啊

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5楼2016-12-06 23:41:33
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南岳学童

铁虫 (小有名气)

没听过靶材要抛光 ,我都是直接镀

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奔跑
6楼2016-12-06 23:43:10
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5205366

铜虫 (正式写手)

引用回帖:
6楼: Originally posted by 南岳学童 at 2016-12-06 23:43:10
没听过靶材要抛光 ,我都是直接镀

是基体抛光,打错了……
7楼2016-12-07 07:39:38
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南岳学童

铁虫 (小有名气)

那就基体抛光,然后超声波清洗,镀膜前偏压清洗,镀膜致密,光滑,根据需要选择镀单面还是双面

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奔跑
8楼2016-12-07 07:55:23
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pvdmaterial

新虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

一般不用抛光,靶材表面只要是光洁平整的就可以,因为还有预溅射过程
9楼2016-12-09 10:28:56
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暴风雪001

新虫 (小有名气)

我都是实验前先抛光,防止靶材氧化严重,然后预溅射,比如Ba靶。

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10楼2016-12-09 13:53:49
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