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5205366

铜虫 (正式写手)

[求助] 请问磁控溅射一定要求靶材表面抛光吗? 已有1人参与

如果不是光亮表面会怎样?谢谢!
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pvdmaterial

新虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

一般不用抛光,靶材表面只要是光洁平整的就可以,因为还有预溅射过程
9楼2016-12-09 10:28:56
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ywslx

至尊木虫 (著名写手)

3楼2016-12-06 12:59:35
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5205366

铜虫 (正式写手)

引用回帖:
3楼: Originally posted by ywslx at 2016-12-06 12:59:35
不需要

我抛光了,但抛的不是特别好,结果试了下,膜非常差,一点都不连续
4楼2016-12-06 13:48:33
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学无止境YAO

银虫 (小有名气)

我感觉不需要抛光,新靶材多用几次才能开始做实验,而且每次做也得预溅射啊

发自小木虫Android客户端
5楼2016-12-06 23:41:33
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