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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 材料综合 » 材料其他 » 请问磁控溅射一定要求靶材表面抛光吗？
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5205366

铜虫 (正式写手)

[求助] 请问磁控溅射一定要求靶材表面抛光吗？ 已有1人参与

如果不是光亮表面会怎样？谢谢！
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1楼 2016-12-06 08:50:51
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5205366

铜虫 (正式写手)
有人吗？
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2楼2016-12-06 12:50:45
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ywslx

至尊木虫 (著名写手)
不需要

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3楼2016-12-06 12:59:35
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5205366

铜虫 (正式写手)
引用回帖:
3楼: Originally posted by ywslx at 2016-12-06 12:59:35
不需要

我抛光了，但抛的不是特别好，结果试了下，膜非常差，一点都不连续
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4楼2016-12-06 13:48:33
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学无止境YAO

银虫 (小有名气)
我感觉不需要抛光，新靶材多用几次才能开始做实验，而且每次做也得预溅射啊

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5楼2016-12-06 23:41:33
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南岳学童

铁虫 (小有名气)
没听过靶材要抛光 ，我都是直接镀

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奔跑
6楼2016-12-06 23:43:10
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5205366

铜虫 (正式写手)
引用回帖:
6楼: Originally posted by 南岳学童 at 2016-12-06 23:43:10
没听过靶材要抛光 ，我都是直接镀

是基体抛光，打错了……
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7楼2016-12-07 07:39:38
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南岳学童

铁虫 (小有名气)
那就基体抛光，然后超声波清洗，镀膜前偏压清洗，镀膜致密，光滑，根据需要选择镀单面还是双面

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奔跑
8楼2016-12-07 07:55:23
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pvdmaterial

新虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

一般不用抛光，靶材表面只要是光洁平整的就可以，因为还有预溅射过程
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9楼2016-12-09 10:28:56
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暴风雪001

新虫 (小有名气)
我都是实验前先抛光，防止靶材氧化严重，然后预溅射，比如Ba靶。

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10楼2016-12-09 13:53:49
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