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请问磁控溅射一定要求靶材表面抛光吗?
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5205366
铜虫
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请问磁控溅射一定要求靶材表面抛光吗?
已有1人参与
如果不是光亮表面会怎样?谢谢!
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1楼
2016-12-06 08:50:51
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专业: 金属材料的微观结构
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6楼
:
Originally posted by
南岳学童
at 2016-12-06 23:43:10
没听过靶材要抛光
,我都是直接镀
是基体抛光,打错了……
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7楼
2016-12-07 07:39:38
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ywslx
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3楼
2016-12-06 12:59:35
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3楼
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Originally posted by
ywslx
at 2016-12-06 12:59:35
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我抛光了,但抛的不是特别好,结果试了下,膜非常差,一点都不连续
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4楼
2016-12-06 13:48:33
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学无止境YAO
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我感觉不需要抛光,新靶材多用几次才能开始做实验,而且每次做也得预溅射啊
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5楼
2016-12-06 23:41:33
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