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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 无机非金属 » 玻璃材料 » 求教:在硅片表面旋涂氯化铪得到的薄膜很不均匀
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462681878

金虫 (小有名气)

[求助] 求教:在硅片表面旋涂氯化铪得到的薄膜很不均匀

如题，溶剂是氯化铪加乙醇和硝酸，然后5000r旋涂30s，但是得到的薄膜中有许多肉眼可见的白色小颗粒且薄膜不均匀，求教大神该怎么改善工艺？

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1楼 2016-12-02 09:27:10
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462681878

金虫 (小有名气)
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6楼2016-12-10 11:16:20
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462681878

金虫 (小有名气)
感觉氯化铪蛮难溶解的，在滴溶剂到硅片时可以看到一些白色团聚

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2楼2016-12-02 09:28:41
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462681878

金虫 (小有名气)
求大神～

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3楼2016-12-02 18:18:35
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462681878

金虫 (小有名气)
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4楼2016-12-05 15:29:23
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