| 查看: 955 | 回复: 6 | |||
[求助]
求教:在硅片表面旋涂氯化铪得到的薄膜很不均匀
|
|
如题，溶剂是氯化铪加乙醇和硝酸，然后5000r旋涂30s，但是得到的薄膜中有许多肉眼可见的白色小颗粒且薄膜不均匀，求教大神该怎么改善工艺？ 发自小木虫Android客户端 |
回复此楼» 猜你喜欢
实名举报：华南理工大学物理与光电学院副院长李志远婚内两次出轨女学生（博士）
已经有8人回复
-
现代”学阀”该如何界定
已经有7人回复
-
各位大神，目前国内有哪些比较好用的逆合成软件？
已经有12人回复
-
我的奶奶
已经有3人回复
-
申博发邮件
已经有10人回复
-
国社科系统bug了，是不是要放榜了？
已经有9人回复
-
上海工程技术大学激光智能制造课题组｜2027级博士研究生招生公告
已经有8人回复
-
上海工程技术大学激光智能制造课题组招收博士研究生
已经有8人回复
2楼2016-12-02 09:28:41
3楼2016-12-02 18:18:35
4楼2016-12-05 15:29:23
5楼2016-12-06 09:59:30
6楼2016-12-10 11:16:20
7楼2017-01-03 14:43:25