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求教:在硅片表面旋涂氯化铪得到的薄膜很不均匀
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如题，溶剂是氯化铪加乙醇和硝酸，然后5000r旋涂30s，但是得到的薄膜中有许多肉眼可见的白色小颗粒且薄膜不均匀，求教大神该怎么改善工艺？ 发自小木虫Android客户端 |
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