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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 无机非金属 » 玻璃材料 » 求教:在硅片表面旋涂氯化铪得到的薄膜很不均匀
北京石油化工学院2026年研究生招生接收调剂公告
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462681878

实习版主

优秀！！有木有！！！优秀！！有木有！！！优秀！！有木有！！！优秀！！有木有！！！

[求助] 求教:在硅片表面旋涂氯化铪得到的薄膜很不均匀

如题，溶剂是氯化铪加乙醇和硝酸，然后5000r旋涂30s，但是得到的薄膜中有许多肉眼可见的白色小颗粒且薄膜不均匀，求教大神该怎么改善工艺？

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1楼 2016-12-02 09:27:10
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462681878

兑换贵宾

优秀！！有木有！！！优秀！！有木有！！！优秀！！有木有！！！优秀！！有木有！！！
感觉氯化铪蛮难溶解的，在滴溶剂到硅片时可以看到一些白色团聚

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2楼2016-12-02 09:28:41
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462681878

专家顾问

优秀！！有木有！！！优秀！！有木有！！！优秀！！有木有！！！优秀！！有木有！！！
求大神～

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3楼2016-12-02 18:18:35
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462681878

专家顾问

优秀！！有木有！！！优秀！！有木有！！！优秀！！有木有！！！优秀！！有木有！！！
自顶

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4楼2016-12-05 15:29:23
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462681878

实习版主


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5楼2016-12-06 09:59:30
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462681878

管理员

优秀！！有木有！！！优秀！！有木有！！！优秀！！有木有！！！优秀！！有木有！！！
顶顶

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6楼2016-12-10 11:16:20
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兑换贵宾

优秀！！有木有！！！优秀！！有木有！！！优秀！！有木有！！！优秀！！有木有！！！
楼主是怎么解决的，我也遇到这样的问题？
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7楼2017-01-03 14:43:25
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