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[求助] 求教:在硅片表面旋涂氯化铪得到的薄膜很不均匀

如题，溶剂是氯化铪加乙醇和硝酸，然后5000r旋涂30s，但是得到的薄膜中有许多肉眼可见的白色小颗粒且薄膜不均匀，求教大神该怎么改善工艺？

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1楼 2016-12-02 09:27:10

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感觉氯化铪蛮难溶解的，在滴溶剂到硅片时可以看到一些白色团聚

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2楼2016-12-02 09:28:41

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求大神～

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3楼2016-12-02 18:18:35

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4楼2016-12-05 15:29:23

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5楼2016-12-06 09:59:30

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6楼2016-12-10 11:16:20

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楼主是怎么解决的，我也遇到这样的问题？

7楼2017-01-03 14:43:25

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