| 查看: 3319 | 回复: 13 | |||
| 当前只显示满足指定条件的回帖,点击这里查看本话题的所有回帖 | |||
[求助]
PDMS上溅射金属已有2人参与
|
|||
| 想在PDMS(道康宁184)上溅射金属。1.spin-coating的方式在硅片上涂一层PDMS;2.采用AZ4620进行光刻;3.溅射200nm的Au。上述过程已经完成,现在要剥离掉AZ光刻胶,请问采用什么方式比较合适?传统的丙酮会不会将PDMS也剥离掉呢? |
» 猜你喜欢
无机化学论文润色/翻译怎么收费?
已经有113人回复
14楼2018-12-14 20:24:02
2楼2016-11-26 11:17:35
3楼2016-11-28 12:09:42
yswyx
专家顾问 (著名写手)
-

专家经验: +651 - MN-EPI: 8
- 应助: 807 (博后)
- 贵宾: 0.204
- 金币: 2618.1
- 散金: 6018
- 红花: 112
- 帖子: 2705
- 在线: 577.8小时
- 虫号: 446878
- 注册: 2007-10-30
- 性别: GG
- 专业: 半导体微纳机电器件与系统
- 管辖: 微米和纳米
4楼2016-11-29 11:57:07













回复此楼