| 查看: 2055 | 回复: 7 | |||
zhnagfan新虫 (初入文坛)
|
[求助]
光刻胶在显影后，出现脱膜不净以及采用灰化去除这脱膜不净的光刻... 已有2人参与
|
||
|
光刻胶在显影后，出现脱膜不净以及采用灰化去除这脱膜不净的光刻胶效果不佳，怀疑是光刻胶谈话，请问造成此类问题有哪些可能，如何解决！ 发自小木虫IOS客户端 |
回复此楼» 猜你喜欢
修改论文，如何借助其他力量？
已经有3人回复
-
金属材料论文润色/翻译怎么收费?
已经有53人回复
» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:
- E-Beam 蒸镀金时候，表面形成直径2~20um的大颗粒，什么原因？
已经有9人回复
- 显影后光刻胶表面出现波纹，求助！！！
已经有9人回复
- 纳米制备艺术（26）：纳米T形栅和GAMA栅的研制
已经有0人回复
- AZ 4620 光刻胶在常温下放久之后会影响些什么性能
已经有14人回复
- 【求助】以打印的胶片做曝光用的掩膜时会出现很多问题，该如何解决呢？
已经有4人回复
yswyx 
专家顾问 (著名写手)
-
专家经验: +651 - MN-EPI: 8
- 应助: 807 (博后)
- 贵宾: 0.204
- 金币: 2618.9
- 散金: 6018
- 红花: 112
- 帖子: 2705
- 在线: 577.8小时
- 虫号: 446878
- 注册: 2007-10-30
- 性别: GG
- 专业: 半导体微纳机电器件与系统
- 管辖: 微米和纳米
2楼2016-11-22 14:47:26
yswyx
专家顾问 (著名写手)
-
专家经验: +651 - MN-EPI: 8
- 应助: 807 (博后)
- 贵宾: 0.204
- 金币: 2618.9
- 散金: 6018
- 红花: 112
- 帖子: 2705
- 在线: 577.8小时
- 虫号: 446878
- 注册: 2007-10-30
- 性别: GG
- 专业: 半导体微纳机电器件与系统
- 管辖: 微米和纳米
6楼2016-11-24 15:02:48
exciting73
金虫 (著名写手)
- 应助: 110 (高中生)
- 金币: 579.9
- 红花: 20
- 帖子: 1785
- 在线: 272.7小时
- 虫号: 1946276
- 注册: 2012-08-19
- 性别: GG
- 专业: 半导体材料
3楼2016-11-23 12:45:58
zhnagfan
新虫 (初入文坛)
- 应助: 0 (幼儿园)
- 金币: 37.5
- 散金: 10
- 帖子: 6
- 在线: 1小时
- 虫号: 5237894
- 注册: 2016-11-15
- 性别: GG
- 专业: 半导体晶体与薄膜材料
|
面板显示行业常用的光刻胶，前烘130度，先前做没有任何问题，突然就出现了脱膜不净，而且无法脱膜的地方在显微镜是黑色的，后面采用plasma灰化也没办法完全去除 发自小木虫IOS客户端 |
4楼2016-11-24 14:24:29
zhnagfan
新虫 (初入文坛)
- 应助: 0 (幼儿园)
- 金币: 37.5
- 散金: 10
- 帖子: 6
- 在线: 1小时
- 虫号: 5237894
- 注册: 2016-11-15
- 性别: GG
- 专业: 半导体晶体与薄膜材料
5楼2016-11-24 14:25:20
exciting73
金虫 (著名写手)
- 应助: 110 (高中生)
- 金币: 579.9
- 红花: 20
- 帖子: 1785
- 在线: 272.7小时
- 虫号: 1946276
- 注册: 2012-08-19
- 性别: GG
- 专业: 半导体材料
7楼2016-12-12 09:58:14
8楼2019-09-18 21:29:08
