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zhnagfan

新虫 (初入文坛)

[求助] 光刻胶在显影后,出现脱膜不净以及采用灰化去除这脱膜不净的光刻... 已有2人参与

光刻胶在显影后,出现脱膜不净以及采用灰化去除这脱膜不净的光刻胶效果不佳,怀疑是光刻胶谈话,请问造成此类问题有哪些可能,如何解决!

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yswyx

专家顾问 (著名写手)


【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
要看是什么胶,用的什么设备和什么工艺参数。
显影不净的可能原因很多,比如前烘过了,曝光剂量不足,或者是综合因素等等。
2楼2016-11-22 14:47:26
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yswyx

专家顾问 (著名写手)


【答案】应助回帖

引用回帖:
4楼: Originally posted by zhnagfan at 2016-11-24 14:24:29
面板显示行业常用的光刻胶,前烘130度,先前做没有任何问题,突然就出现了脱膜不净,而且无法脱膜的地方在显微镜是黑色的,后面采用plasma灰化也没办法完全去除
...

用测温仪监控一下热板温度。光强计测光强。
热板的温度出问题的概率大。
如果有残留的图片,发上来看看。最好把玻璃裂开做个剖面电镜图最好。

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6楼2016-11-24 15:02:48
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普通回帖

exciting73

金虫 (著名写手)


【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
跟烘胶有关。烘胶是什么条件?
3楼2016-11-23 12:45:58
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zhnagfan

新虫 (初入文坛)

引用回帖:
2楼: Originally posted by yswyx at 2016-11-22 14:47:26
要看是什么胶,用的什么设备和什么工艺参数。
显影不净的可能原因很多,比如前烘过了,曝光剂量不足,或者是综合因素等等。

面板显示行业常用的光刻胶,前烘130度,先前做没有任何问题,突然就出现了脱膜不净,而且无法脱膜的地方在显微镜是黑色的,后面采用plasma灰化也没办法完全去除

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4楼2016-11-24 14:24:29
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zhnagfan

新虫 (初入文坛)

引用回帖:
3楼: Originally posted by exciting73 at 2016-11-23 12:45:58
跟烘胶有关。烘胶是什么条件?

烘烤温度130

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5楼2016-11-24 14:25:20
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exciting73

金虫 (著名写手)


【答案】应助回帖

引用回帖:
5楼: Originally posted by zhnagfan at 2016-11-24 14:25:20
烘烤温度130
...

脱模不净的区域多吗?每个区域有多大?光刻胶有没有变质、沉积等情况?
7楼2016-12-12 09:58:14
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ywpzn

新虫 (正式写手)

引用回帖:
7楼: Originally posted by exciting73 at 2016-12-12 09:58:14
脱模不净的区域多吗?每个区域有多大?光刻胶有没有变质、沉积等情况?...

正性光刻胶涂覆在金表面后90℃温控台烘干,显影,再金电极上镀镍,金镍结合强度很差请问是什么原因?

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8楼2019-09-18 21:29:08
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