| 查看: 668 | 回复: 0 | ||||
[交流]
纳米制备艺术（26）：纳米T形栅和GAMA栅的研制
|
【本木虫郑重申明：本木虫在这个网站里公布的所有纳米加工结果都是本人以往的亲身工作，无一抄搬他人成果】 采用PMMA/Al/UVIII光刻胶和电子束光刻技术，先要在光刻胶中做出这样的模板，然后蒸发镀金属层，最后去胶剥离，就做成了这样的T形栅。而在EBL中，要做两次曝光，一次是对宽的头部，另一步是对细的脚部进行曝光。显影后就出现了T形栅极。  同样，如果将脚部细线故意偏离中心，就做成了GAMA栅。  通过去胶剥离（lift-off）以后的T形栅。希望大家能欣赏我做的纳米T形栅。 |
回复此楼» 收录本帖的淘帖专辑推荐
 纳米制备的艺术 |
» 猜你喜欢
北京航空航天大学26级博士招生-生物医学工程-合成生物学
已经有20人回复
-
温州大学王娟课题组2026年招生
已经有10人回复
-
金属材料论文润色/翻译怎么收费?
已经有270人回复
-
温州大学2026年招生（化学、材料）
已经有10人回复
-
招生负责_院士团队_学生高自由度成长_擅长学生培养
已经有5人回复
-
温州大学招收2026年入学博士研究生（化学、材料、环境）
已经有10人回复
-
非晶合金
已经有2人回复
-
院士团队-每届学生都优秀-高自由度-团队氛围好
已经有0人回复
-
求调剂
已经有0人回复
» 本主题相关商家推荐: (我也要在这里推广)
找到一些相关的精华帖子，希望有用哦~
纳米制备艺术（24）：纳米T形栅（T shape gate)
已经有14人回复
- 纳米制备艺术（22）：纳米硅尖列阵的最后一帖
已经有15人回复
- 纳米制备艺术（21）：关于硅尖列阵的制备发表的文章（去掉了作者真实的名字）
已经有7人回复
- 纳米制备艺术（13）：又一个高硅尖列阵！
已经有4人回复
- 纳米制备艺术（11）：高硅尖列阵！
已经有11人回复
- 纳米制备艺术（10）：中等高硅尖列阵！
已经有14人回复
- 纳米制备艺术（7）：一个萝卜一个坑！
已经有4人回复
- 纳米制备艺术（6）：失败
已经有7人回复
- 石墨烯场效应管（GFET）氧化层电容是算顶栅的还是算背栅的？
已经有12人回复
- 微栅拍不出来透射！！！
已经有11人回复
- 为什么水溶液制备金纳米颗粒出现了不同的形状，而且两个粒子还有融合的现象？
已经有10人回复
点击这里搜索更多相关资源科研从小木虫开始，人人为我，我为人人
