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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 学术交流 » 光刻显影不干净什么原因？
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Adrean

金虫 (小有名气)

钻虫
胶大概多厚？曝光剂量？
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千里之行始于足下
21楼2016-11-30 21:32:40
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强哥哥哥

新虫 (著名写手)
引用回帖:
21楼: Originally posted by Adrean at 2016-11-30 21:32:40
胶大概多厚？曝光剂量？

不知道帅了多厚，估计在3个微米左右

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22楼2016-11-30 23:31:22
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shijie6356

铁虫 (著名写手)
显影液有加表面活性剂吗？

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23楼2018-09-07 16:48:07
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cunzhang3227

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
8楼: Originally posted by 天海星云 at 2016-10-20 20:40:26
我们用过这种胶，不过根据经验判断，1你应该用的是有机物显影液而非氢氧化钠之类的溶液；2你的显影容器如果是塑料或聚四氟之类材料的话，显影有残渣的现象会很明显；3，浸泡式显影比喷淋式显影，残渣现象更为明显
...

我用这款胶，用氢氧化钠显不出来，为什么？

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24楼2018-11-14 00:25:26
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