| 查看: 5482 | 回复: 23 | |||
强哥哥哥新虫 (著名写手)
|
[求助]
光刻显影不干净什么原因？ 已有4人参与
|
|
用的是AZ-5214E反转光刻胶，但是在显影的时候有胶残余，甚至一直在显影夜液中放两个小时，最后还是不干净。在PZT,PIMNT单晶上面甩的胶，表面不是很平整。改怎么改进实验？ @yswyx 发自小木虫Android客户端 |
回复此楼» 收录本帖的淘帖专辑推荐
 薄膜材料和器件制备 |
» 猜你喜欢
修改论文，如何借助其他力量？
已经有4人回复
-
中山大学潘越教授课题组2027级推免硕士研究生招生 新增一个专业医学技术名额
已经有21人回复
-
无机化学论文润色/翻译怎么收费?
已经有187人回复
-
哈尔滨工程大学国家级青年人才-27年申请考核制博士招生（材料、化学、生物医学专业）
已经有13人回复
-
HRTEM/原位TEM/HRSTEM检测｜价格优·周期短·可加急
已经有0人回复
-
大家平时也可以交流下
已经有1人回复
-
ELSEVIER旗下投稿decision in process后with editor，应该如何理解
已经有45人回复
fdnh
木虫 (正式写手)
- 应助: 1 (幼儿园)
- 金币: 6692.5
- 散金: 30
- 红花: 1
- 帖子: 589
- 在线: 51.8小时
- 虫号: 1707283
- 注册: 2012-03-21
- 专业: 材料物理化学
强哥哥哥2楼2016-10-19 15:49:17
强哥哥哥
新虫 (著名写手)
- 应助: 0 (幼儿园)
- 金币: 5863.8
- 散金: 25
- 红花: 19
- 帖子: 2375
- 在线: 136.3小时
- 虫号: 4127252
- 注册: 2015-10-08
- 性别: GG
- 专业: 半导体科学与信息器件
3楼2016-10-19 18:16:29
exciting73 
金虫 (著名写手)
- 应助: 110 (高中生)
- 金币: 579.9
- 红花: 20
- 帖子: 1785
- 在线: 272.7小时
- 虫号: 1946276
- 注册: 2012-08-19
- 性别: GG
- 专业: 半导体材料
4楼2016-10-19 22:31:37
强哥哥哥
新虫 (著名写手)
- 应助: 0 (幼儿园)
- 金币: 5863.8
- 散金: 25
- 红花: 19
- 帖子: 2375
- 在线: 136.3小时
- 虫号: 4127252
- 注册: 2015-10-08
- 性别: GG
- 专业: 半导体科学与信息器件
|
预烘用80s,反转烘3.5min,本来想预烘时间降低，但是降低的话掩模时候，片子直接顶起来粘在掩模版上了，我又担心是预烘时间过长最底部的胶预烘时就变性了。有没有什么好的建议？ 发自小木虫Android客户端 |
5楼2016-10-19 22:49:14
exciting73
金虫 (著名写手)
- 应助: 110 (高中生)
- 金币: 579.9
- 红花: 20
- 帖子: 1785
- 在线: 272.7小时
- 虫号: 1946276
- 注册: 2012-08-19
- 性别: GG
- 专业: 半导体材料
6楼2016-10-20 09:47:58
强哥哥哥
新虫 (著名写手)
- 应助: 0 (幼儿园)
- 金币: 5863.8
- 散金: 25
- 红花: 19
- 帖子: 2375
- 在线: 136.3小时
- 虫号: 4127252
- 注册: 2015-10-08
- 性别: GG
- 专业: 半导体科学与信息器件
7楼2016-10-20 10:40:04
|
我们用过这种胶，不过根据经验判断，1你应该用的是有机物显影液而非氢氧化钠之类的溶液；2你的显影容器如果是塑料或聚四氟之类材料的话，显影有残渣的现象会很明显；3，浸泡式显影比喷淋式显影，残渣现象更为明显 发自小木虫Android客户端 |
8楼2016-10-20 20:40:26
|
黏住了说明你用的是厚胶，而且转速太低，导致胶厚度太大，这一步又会影响到最后的曝光，因为厚度增加，曝光的时常也需要增加！不是显影液的问题，显影液10秒钟就可以解决问题！ 发自小木虫Android客户端 |
9楼2016-10-21 14:46:46
强哥哥哥
新虫 (著名写手)
- 应助: 0 (幼儿园)
- 金币: 5863.8
- 散金: 25
- 红花: 19
- 帖子: 2375
- 在线: 136.3小时
- 虫号: 4127252
- 注册: 2015-10-08
- 性别: GG
- 专业: 半导体科学与信息器件
10楼2016-10-21 15:19:00
