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强哥哥哥

新虫 (著名写手)

[求助] 光刻显影不干净什么原因?已有4人参与

用的是AZ-5214E反转光刻胶,但是在显影的时候有胶残余,甚至一直在显影夜液中放两个小时,最后还是不干净。在PZT,PIMNT单晶上面甩的胶,表面不是很平整。改怎么改进实验?

@yswyx 发自小木虫Android客户端
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shijie6356

铁虫 (著名写手)

显影液有加表面活性剂吗?

发自小木虫Android客户端
23楼2018-09-07 16:48:07
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