应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 新能源材料 » 【请教】请教氮化硅减反射层
121/2返回列表12下一页
查看: 1212  |  回复: 11
只看楼主 @他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看
当前主题已经存档。

andrew82chen

捐助贵宾 (小有名气)

[交流] 【请教】请教氮化硅减反射层

工艺：PECVD，印刷银浆后，再烧结
请问高人，氮化硅烧结前是否多孔结构，烧结后致密？有没有文献推荐一下，谢谢！

[ Last edited by ddx-k on 2008-12-4 at 15:13 ]
回复此楼

» 猜你喜欢
1楼 2008-11-26 14:17:00
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

ddx-k

荣誉版主 (著名写手)

骑士II
★ ★
zt970831(金币+2):感谢您的交流 1-30 21:56
一般都很致密，因为致密的膜折射率高，减反射效果好，其实烧结的时候银浆会透过膜与硅接触。
赞一下(10人) 回复此楼
2楼2008-12-04 08:54:32
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

stardom427

木虫 (著名写手)
★ ★
ddx-k(金币+0,VIP+0):看你写的专业是玻璃，但是你好像对电池工艺很熟悉啊。高手！
ddx-k(金币+2,VIP+0):回答很正确，里面涉及到共熔点的问题。
是致密层。。。。
烧结时，银浆中的玻璃粉会熔融，然后会高温腐蚀氮化硅，从而与硅片形成良好的欧姆接触。
赞一下(20人) 回复此楼
3楼2008-12-04 09:28:50
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

comeon213

问一下一楼：折射率不是接近2最好么？难道越高越好？
二楼的帮助很大，谢谢啊
赞一下 回复此楼
4楼2009-01-30 11:45:39
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

cord

铁杆木虫 (著名写手)
★ ★
musi429(金币+2):多谢答复，新年快乐~ 1-31 01:08
如果烧结的温度高到连玻璃粉都融化了，这个温度要上千度吧，这样的话，底下的PN结电池是不是已经受到破坏了。
在用于减反射层时氮化硅的折射率接近2好
赞一下(10人) 回复此楼
5楼2009-01-30 23:45:47
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

greenworm1233

链式烧结炉的温度在800~850之间，这个温度主要是依据形成铝背场的温度要求设定的。单纯正表面电极不需要这么高的温度。
赞一下 回复此楼
6楼2009-02-07 14:37:20
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

memser

PECVD SiNx一般温度是350°C，当后续工艺超过其沉积温度时，氮化硅薄膜会起泡、表面褶皱等，当然刻意调整沉积温度，我们用的OXford plasma system 100设备最高温度可为750，但是没有人弄的这么高的。如果条件容许，最好采用LPCVD，一般800－1000°C，薄膜致密得多，折射率一般超过2，PECVD的一般折射率1.97左右，很少超过2（折射率大小针对6328nm波长而言）
赞一下 回复此楼
7楼2009-02-07 20:01:30
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

memser

P.S.　没弄清楚你的用途，怎么又要用减反射，如果那样，作为减反射膜。不光和膜的折射率有关，和膜的厚度也有关。如果你只是采用单层薄膜作为减反射膜话，那么最理想的单层减反射膜的条件是：膜的光学厚度（不是物理厚度）应为你系统参考波长的1/4整数倍，膜的折射率为入射介质折射率和出射介质折射率乘积的平方根。
赞一下 回复此楼
8楼2009-02-07 20:10:43
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

健康2008

新虫 (初入文坛)
氮化硅的减反效果不是不好吗？即便是硅基电池，其减反效果也不好。
赞一下 回复此楼
9楼2009-05-09 11:35:25
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

Sahnrain

铁杆木虫 (正式写手)
SiNx膜的主要作用是减反射和钝化作用，膜本身必须到达两个要求，一是致密，而是均匀，折射率一般在2.0左右，目前最主要的两种镀膜设备是管式PECVD和平板PECVD，管式工艺膜的致密性要好于平板的，但平板的均匀性要好于管式的，国内管式为主。Suntech就是管式工艺。
赞一下 回复此楼
10楼2009-05-09 18:09:54
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
相关版块跳转 我要订阅楼主 andrew82chen 的主题更新
121/2返回列表12下一页
普通表情 龙 兔 虎 猫 高级回复 (可上传附件)
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[基金申请] 明天应该可查了！？ +4 chengyan1220 2026-08-23 4/200 2026-08-24 08:47 by gloomy6159
[基金申请] 建议基金发布提前给出明确的时间点 +11 kulium 2026-08-21 14/700 2026-08-24 02:12 by 流流伤
[基金申请] 2026国自然函评费到账 +16 羊腰板 2026-08-21 17/850 2026-08-23 23:02 by tianxiaochun
[基金申请] 让我中一个面上吧！ +12 大萍1987 2026-08-20 15/750 2026-08-23 20:44 by 大萍1987
[基金申请] 2026年的国家社科基金项目通讯评审的新规则与新动向、新挑战 +4 process2012 2026-08-23 5/250 2026-08-23 19:58 by jurkat.1640
[教师之家] 跳槽后在研项目怎么办？ +5 简单化xn 2026-08-22 10/500 2026-08-23 12:38 by 简单化xn
[基金申请] 只有每年这种时候来逛逛小木虫 +24 yaoyewhu2008 2026-08-20 26/1300 2026-08-22 17:43 by kammury
[基金申请] filecode，4个jtjc了 +13 ziyangfang 2026-08-19 16/800 2026-08-22 17:08 by WH3796
[基金申请] 人气不行了 +8 fansofjerry 2026-08-21 8/400 2026-08-22 16:30 by zyqchem
[基金申请] 放榜前的不淡定 40+4 snowwithsea 2026-08-19 14/700 2026-08-21 23:51 by cratir
[基金申请] 科研孤儿太难了 +17 我4大白菜 2026-08-20 18/900 2026-08-21 20:57 by zhangev
[基金申请] 看来今天不会放榜了？ +8 chengyan1220 2026-08-21 11/550 2026-08-21 17:52 by dcqxinyang
[基金申请] 时间戳又变了 +13 wuchongjun 2026-08-20 19/950 2026-08-21 17:21 by 紫杉醇
[基金申请] 感觉是下周放榜了 +7 angus9576 2026-08-17 12/600 2026-08-21 13:38 by weiyin
[基金申请] 应该是下周三26日公布了吧？ +4 哈哈蛤？ 2026-08-21 4/200 2026-08-21 10:58 by Vivilian
[基金申请] 基金啊基金 +4 longfie172 2026-08-20 4/200 2026-08-21 08:58 by mark mao
[基金申请] 估计是周四 +3 archvillain 2026-08-18 3/150 2026-08-21 01:48 by jnhyjjm
[基金申请] 时间戳变了，能看出什么问题？ +18 基诺咪客 2026-08-17 23/1150 2026-08-20 17:19 by Godzela
[基金申请] 朋友圈看到的 +6 wangzilk 2026-08-18 8/400 2026-08-19 10:55 by Haru815
[基金申请] 明天放榜？ +5 Shxjjxjkx 2026-08-18 5/250 2026-08-18 18:14 by -大大大大大-
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭