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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 功能薄膜 » 原子层沉积制备的氧化铝薄膜是非晶的吗？
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毛毛虫380

新虫 (小有名气)

[求助] 原子层沉积制备的氧化铝薄膜是非晶的吗？

请问，150摄氏度原子层沉积制备的氧化铝薄膜是非晶的吗？
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1楼2016-10-09 15:24:34
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yellow鑫

金虫 (正式写手)
我这边做的用200度，氧化铝是非晶的

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两肩如铁，胸襟似海。
3楼2016-10-10 14:11:30
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下一站，守候

新虫 (小有名气)
一般是多晶的

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2楼2016-10-09 19:05:25
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毛毛虫380

新虫 (小有名气)
引用回帖:
3楼: Originally posted by yellow鑫 at 2016-10-10 14:11:30
我这边做的用200度，氧化铝是非晶的

哦哦，我觉得也应该是非晶吧，请问你怎么表征呢？用TEM还是精扫XRD？

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4楼2016-10-10 14:23:08
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yellow鑫

金虫 (正式写手)
引用回帖:
4楼: Originally posted by 毛毛虫380 at 2016-10-10 14:23:08
哦哦，我觉得也应该是非晶吧，请问你怎么表征呢？用TEM还是精扫XRD？
...

当然xrd啊！你做多厚？

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两肩如铁，胸襟似海。
5楼2016-10-10 15:40:33
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