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毛毛虫380

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[求助] 原子层沉积制备的氧化铝薄膜是非晶的吗？

请问，150摄氏度原子层沉积制备的氧化铝薄膜是非晶的吗？

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1楼 2016-10-09 15:24:34

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新虫 (小有名气)

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一般是多晶的

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2楼2016-10-09 19:05:25

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yellow鑫

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我这边做的用200度，氧化铝是非晶的

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3楼2016-10-10 14:11:30

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毛毛虫380

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3楼: Originally posted by yellow鑫 at 2016-10-10 14:11:30
我这边做的用200度，氧化铝是非晶的

哦哦，我觉得也应该是非晶吧，请问你怎么表征呢？用TEM还是精扫XRD？

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4楼2016-10-10 14:23:08

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yellow鑫

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4楼: Originally posted by 毛毛虫380 at 2016-10-10 14:23:08
哦哦，我觉得也应该是非晶吧，请问你怎么表征呢？用TEM还是精扫XRD？
...

当然xrd啊！你做多厚？

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5楼2016-10-10 15:40:33

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zym19821116

金虫 (初入文坛)

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3楼: Originally posted by yellow鑫 at 2016-10-10 14:11:30
我这边做的用200度，氧化铝是非晶的

请教一个问题啊，我在金属表面，例如铝表面原子层沉积三氧化二铝，基片用先预处理吗？如果不处理，能把三氧化二铝生长在铝表面吗？还有我设的腔体和门的温度是70度，400个循环能生长多厚呢？

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6楼2016-10-12 19:22:51

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yellow鑫

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6楼: Originally posted by zym19821116 at 2016-10-12 19:22:51
请教一个问题啊，我在金属表面，例如铝表面原子层沉积三氧化二铝，基片用先预处理吗？如果不处理，能把三氧化二铝生长在铝表面吗？还有我设的腔体和门的温度是70度，400个循环能生长多厚呢？...

这个根据工艺和源有区别的，你可以做了以后表征一下薄膜厚度啊！

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7楼2016-10-12 20:23:05

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love06

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我做了6年ALD，300℃以下肯定是非晶

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8楼2016-10-22 09:57:51

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