应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 功能薄膜 » 原子层沉积制备的氧化铝薄膜是非晶的吗？
81/1返回列表
查看: 2387  |  回复: 7
只看楼主 @他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看

毛毛虫380

新虫 (小有名气)

[求助] 原子层沉积制备的氧化铝薄膜是非晶的吗？

请问，150摄氏度原子层沉积制备的氧化铝薄膜是非晶的吗？
回复此楼

» 猜你喜欢
1楼 2016-10-09 15:24:34
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

下一站，守候

新虫 (小有名气)
一般是多晶的

发自小木虫Android客户端
回复此楼
2楼2016-10-09 19:05:25
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

yellow鑫

金虫 (正式写手)
我这边做的用200度，氧化铝是非晶的

发自小木虫Android客户端
赞一下(1人) 回复此楼
两肩如铁，胸襟似海。
3楼2016-10-10 14:11:30
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

毛毛虫380

新虫 (小有名气)
引用回帖:
3楼: Originally posted by yellow鑫 at 2016-10-10 14:11:30
我这边做的用200度，氧化铝是非晶的

哦哦，我觉得也应该是非晶吧，请问你怎么表征呢？用TEM还是精扫XRD？

发自小木虫IOS客户端
赞一下 回复此楼
4楼2016-10-10 14:23:08
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

yellow鑫

金虫 (正式写手)
引用回帖:
4楼: Originally posted by 毛毛虫380 at 2016-10-10 14:23:08
哦哦，我觉得也应该是非晶吧，请问你怎么表征呢？用TEM还是精扫XRD？
...

当然xrd啊！你做多厚？

发自小木虫Android客户端
赞一下 回复此楼
两肩如铁，胸襟似海。
5楼2016-10-10 15:40:33
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

zym19821116

金虫 (初入文坛)
引用回帖:
3楼: Originally posted by yellow鑫 at 2016-10-10 14:11:30
我这边做的用200度，氧化铝是非晶的

请教一个问题啊，我在金属表面，例如铝表面原子层沉积三氧化二铝，基片用先预处理吗？如果不处理，能把三氧化二铝生长在铝表面吗？还有我设的腔体和门的温度是70度，400个循环能生长多厚呢？
赞一下 回复此楼
6楼2016-10-12 19:22:51
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

yellow鑫

金虫 (正式写手)
引用回帖:
6楼: Originally posted by zym19821116 at 2016-10-12 19:22:51
请教一个问题啊，我在金属表面，例如铝表面原子层沉积三氧化二铝，基片用先预处理吗？如果不处理，能把三氧化二铝生长在铝表面吗？还有我设的腔体和门的温度是70度，400个循环能生长多厚呢？...

这个根据工艺和源有区别的，你可以做了以后表征一下薄膜厚度啊！

发自小木虫Android客户端
赞一下 回复此楼
两肩如铁，胸襟似海。
7楼2016-10-12 20:23:05
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

love06

捐助贵宾 (正式写手)
我做了6年ALD，300℃以下肯定是非晶

发自小木虫Android客户端
赞一下 回复此楼
8楼2016-10-22 09:57:51
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
相关版块跳转 我要订阅楼主 毛毛虫380 的主题更新
81/1返回列表
普通表情 龙 兔 虎 猫
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭