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毛毛虫380

新虫 (小有名气)

[求助] 原子层沉积制备的氧化铝薄膜是非晶的吗?

请问,150摄氏度原子层沉积制备的氧化铝薄膜是非晶的吗?
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新虫 (小有名气)

2楼2016-10-09 19:05:25
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yellow鑫

金虫 (正式写手)

我这边做的用200度,氧化铝是非晶的

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两肩如铁,胸襟似海。
3楼2016-10-10 14:11:30
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毛毛虫380

新虫 (小有名气)

引用回帖:
3楼: Originally posted by yellow鑫 at 2016-10-10 14:11:30
我这边做的用200度,氧化铝是非晶的

哦哦,我觉得也应该是非晶吧,请问你怎么表征呢?用TEM还是精扫XRD?

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4楼2016-10-10 14:23:08
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yellow鑫

金虫 (正式写手)

引用回帖:
4楼: Originally posted by 毛毛虫380 at 2016-10-10 14:23:08
哦哦,我觉得也应该是非晶吧,请问你怎么表征呢?用TEM还是精扫XRD?
...

当然xrd啊!你做多厚?

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两肩如铁,胸襟似海。
5楼2016-10-10 15:40:33
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zym19821116

金虫 (初入文坛)

引用回帖:
3楼: Originally posted by yellow鑫 at 2016-10-10 14:11:30
我这边做的用200度,氧化铝是非晶的

请教一个问题啊,我在金属表面,例如铝表面原子层沉积三氧化二铝,基片用先预处理吗?如果不处理,能把三氧化二铝生长在铝表面吗?还有我设的腔体和门的温度是70度,400个循环能生长多厚呢?
6楼2016-10-12 19:22:51
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yellow鑫

金虫 (正式写手)

引用回帖:
6楼: Originally posted by zym19821116 at 2016-10-12 19:22:51
请教一个问题啊,我在金属表面,例如铝表面原子层沉积三氧化二铝,基片用先预处理吗?如果不处理,能把三氧化二铝生长在铝表面吗?还有我设的腔体和门的温度是70度,400个循环能生长多厚呢?...

这个根据工艺和源有区别的,你可以做了以后表征一下薄膜厚度啊!

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两肩如铁,胸襟似海。
7楼2016-10-12 20:23:05
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love06

捐助贵宾 (正式写手)


我做了6年ALD,300℃以下肯定是非晶

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8楼2016-10-22 09:57:51
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