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北京石油化工学院2026年研究生招生接收调剂公告
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紫瞳小昱

版主

优秀！！有木有！！！优秀！！有木有！！！优秀！！有木有！！！优秀！！有木有！！！

[求助] 刚开始做科研，请问下如果在硅片上镀上一层铜膜用什么样的方法比较合适呢 已有4人参与

各位大神，硅片上镀铜膜，10nm厚度,来长石墨烯，用什么样的方法比较合适呢，有没有相关文献呢，在线等解答
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1楼 2016-09-23 19:21:00
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回帖支持 ( 显示支持度最高的前 50 名 )

BMaxFeynman

专家顾问

金虫

优秀！！有木有！！！优秀！！有木有！！！优秀！！有木有！！！优秀！！有木有！！！

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
紫瞳小昱: 金币+4, ★★★很有帮助 2016-09-28 14:28:03
采用物理气相沉积啊，这个比较容易做到。磁控溅射技术！
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7楼2016-09-25 14:34:31
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kangye_1989

超级版主

优秀！！有木有！！！优秀！！有木有！！！优秀！！有木有！！！优秀！！有木有！！！

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
紫瞳小昱: 金币+2 2016-09-28 14:29:10
紫瞳小昱: 金币+3 2016-09-28 14:31:03
建议你用物理气相沉积做，磁控溅射就可以
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8楼2016-09-26 10:58:39
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沧海一梦2011

版主

优秀！！有木有！！！优秀！！有木有！！！优秀！！有木有！！！优秀！！有木有！！！
用磁控溅射就可以，不过铜的溅射速率较快，控制好镀膜参数
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9楼2016-09-26 17:06:39
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普通回帖

紫瞳小昱

主管区长

优秀！！有木有！！！优秀！！有木有！！！优秀！！有木有！！！优秀！！有木有！！！
顶上去，大神来解答吧
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2楼2016-09-23 19:47:57
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sunm1980

管理员

优秀！！有木有！！！优秀！！有木有！！！优秀！！有木有！！！优秀！！有木有！！！
厚度有些薄，直接ECP不后续处理有些难。且难控制均匀性。

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生活内容
3楼2016-09-23 20:00:48
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sunm1980

超级版主

优秀！！有木有！！！优秀！！有木有！！！优秀！！有木有！！！优秀！！有木有！！！
ALD？

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生活内容
4楼2016-09-23 20:02:02
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紫瞳小昱

主管区长

优秀！！有木有！！！优秀！！有木有！！！优秀！！有木有！！！优秀！！有木有！！！
引用回帖:
3楼: Originally posted by sunm1980 at 2016-09-23 20:00:48
厚度有些薄，直接ECP不后续处理有些难。且难控制均匀性。

厚度大概多少合适呢，方面问下后续处理有什么吗
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5楼2016-09-23 20:20:03
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南京的李工

主管区长

优秀！！有木有！！！优秀！！有木有！！！优秀！！有木有！！！优秀！！有木有！！！

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
次磷酸钠为还原剂、硫酸镍为再活化剂
除油、酸洗、敏化、活化等工艺不能少
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6楼2016-09-24 22:01:22
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15190052720

兑换贵宾

优秀！！有木有！！！优秀！！有木有！！！优秀！！有木有！！！优秀！！有木有！！！
pvd长吧。

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10楼2016-09-27 07:57:54
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