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紫瞳小昱

新虫 (初入文坛)

[求助] 刚开始做科研,请问下如果在硅片上镀上一层铜膜用什么样的方法比较合适呢 已有4人参与

各位大神,硅片上镀铜膜,10nm厚度,来长石墨烯,用什么样的方法比较合适呢,有没有相关文献呢,在线等解答
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BMaxFeynman

金虫 (小有名气)

金虫

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★
感谢参与,应助指数 +1
紫瞳小昱: 金币+4, ★★★很有帮助 2016-09-28 14:28:03
采用物理气相沉积啊,这个比较容易做到。磁控溅射技术!
7楼2016-09-25 14:34:31
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kangye_1989

木虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
感谢参与,应助指数 +1
紫瞳小昱: 金币+2 2016-09-28 14:29:10
紫瞳小昱: 金币+3 2016-09-28 14:31:03
建议你用物理气相沉积做,磁控溅射就可以
8楼2016-09-26 10:58:39
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沧海一梦2011

至尊木虫 (正式写手)

用磁控溅射就可以,不过铜的溅射速率较快,控制好镀膜参数
9楼2016-09-26 17:06:39
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普通回帖

紫瞳小昱

新虫 (初入文坛)

顶上去,大神来解答吧
2楼2016-09-23 19:47:57
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sunm1980

木虫 (正式写手)

厚度有些薄,直接ECP不后续处理有些难。且难控制均匀性。

发自小木虫Android客户端
生活内容
3楼2016-09-23 20:00:48
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sunm1980

木虫 (正式写手)

生活内容
4楼2016-09-23 20:02:02
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紫瞳小昱

新虫 (初入文坛)

引用回帖:
3楼: Originally posted by sunm1980 at 2016-09-23 20:00:48
厚度有些薄,直接ECP不后续处理有些难。且难控制均匀性。

厚度大概多少合适呢,方面问下后续处理有什么吗
5楼2016-09-23 20:20:03
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南京的李工

禁言 (文坛精英)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
次磷酸钠为还原剂、硫酸镍为再活化剂
除油、酸洗、敏化、活化等工艺不能少
6楼2016-09-24 22:01:22
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15190052720

新虫 (正式写手)

10楼2016-09-27 07:57:54
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