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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 材料综合 » 跨学科应用 » 刚开始做科研，请问下如果在硅片上镀上一层铜膜用什么样的方法比较合适呢
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紫瞳小昱

新虫 (初入文坛)

[求助] 刚开始做科研，请问下如果在硅片上镀上一层铜膜用什么样的方法比较合适呢 已有4人参与

各位大神，硅片上镀铜膜，10nm厚度,来长石墨烯，用什么样的方法比较合适呢，有没有相关文献呢，在线等解答
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1楼 2016-09-23 19:21:00
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沧海一梦2011

至尊木虫 (正式写手)
用磁控溅射就可以，不过铜的溅射速率较快，控制好镀膜参数
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9楼2016-09-26 17:06:39
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紫瞳小昱

新虫 (初入文坛)
顶上去，大神来解答吧
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2楼2016-09-23 19:47:57
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sunm1980

木虫 (正式写手)
厚度有些薄，直接ECP不后续处理有些难。且难控制均匀性。

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生活内容
3楼2016-09-23 20:00:48
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sunm1980

木虫 (正式写手)
ALD？

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生活内容
4楼2016-09-23 20:02:02
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