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紫瞳小昱

新虫 (初入文坛)

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虫号: 2915475
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专业: 化学生物学与生物有机化学

[求助] 刚开始做科研，请问下如果在硅片上镀上一层铜膜用什么样的方法比较合适呢已有4人参与

各位大神，硅片上镀铜膜，10nm厚度,来长石墨烯，用什么样的方法比较合适呢，有没有相关文献呢，在线等解答

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1楼 2016-09-23 19:21:00

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15190052720

新虫 (正式写手)

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性别: GG
专业: 半导体晶体与薄膜材料

pvd长吧。

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10楼2016-09-27 07:57:54

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紫瞳小昱

新虫 (初入文坛)

应助: 0 (幼儿园)
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散金: 2
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虫号: 2915475
注册: 2014-01-05
专业: 化学生物学与生物有机化学

顶上去，大神来解答吧

2楼2016-09-23 19:47:57

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sunm1980

木虫 (正式写手)

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虫号: 863186
注册: 2009-10-05
专业: 半导体材料

厚度有些薄，直接ECP不后续处理有些难。且难控制均匀性。

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3楼2016-09-23 20:00:48

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sunm1980

木虫 (正式写手)

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注册: 2009-10-05
专业: 半导体材料

ALD？

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4楼2016-09-23 20:02:02

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