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南小宸ninasu

新虫 (初入文坛)

[交流] 电极电镜(SEM)照的时候图案晃动发虚 已有6人参与

Q1.电极电镜(SEM)照的时候图案晃动发虚,根本拍不到东西,是没有固定好的问题吗?底座直接放在样品台上再粘,还是样品台上粘一层胶,底座再放上去?
Q2.电极应该能承受3kV的电子束吧。
Q3.电极是否喷金?
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corrtest

木虫 (著名写手)



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A1.一般是用导电胶把电极和底座粘起来,不知道近两年有没有新的操作变化。图案发虚,可能是对焦没对好。
A2.这个要依据经验。
A3.电极应该有修饰吧?喷不喷金要看你电极的导电性怎么样了, 导电性不好就需要喷金。
2楼2016-08-29 17:05:39
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xzpsb

铁杆木虫 (著名写手)


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楼上基本都说了,拍的时候图片晃动发虚是热效应导致的,我记得拍的时候老师讲过

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君子居不求安,食无求饱
3楼2016-08-29 19:22:15
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南小宸ninasu

新虫 (初入文坛)

引用回帖:
2楼: Originally posted by corrtest at 2016-08-29 17:05:39
A1.一般是用导电胶把电极和底座粘起来,不知道近两年有没有新的操作变化。图案发虚,可能是对焦没对好。
A2.这个要依据经验。
A3.电极应该有修饰吧?喷不喷金要看你电极的导电性怎么样了, 导电性不好就需要喷金。

谢谢您的回复。是底座直接放在样品台上再粘对吗?好像我确实粘错了……
4楼2016-08-30 09:53:37
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南小宸ninasu

新虫 (初入文坛)

引用回帖:
3楼: Originally posted by xzpsb at 2016-08-29 19:22:15
楼上基本都说了,拍的时候图片晃动发虚是热效应导致的,我记得拍的时候老师讲过

谢谢您的回复。热效应是对导电胶而言对吗,对电极杆和电极芯没问题吧?是聚四氟乙烯的杆和玻碳的芯
5楼2016-08-30 09:54:43
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elf_dh

新虫 (小有名气)


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粘不粘随便,只要能保证导电性,晃动的话很有可能是样品有孔隙,放气导致真空度下降。虚像如果聚焦,微调都没问题的话,有可能是灯丝用久了。

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6楼2016-09-01 19:25:53
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gxytju2008

专家顾问 (文坛精英)


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固定不好或者是导电性不好,个人感觉导电性更有可能一些
7楼2016-09-02 12:53:48
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houll1986

新虫 (小有名气)


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样品不稳,不要说的那么深奥

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8楼2016-09-03 08:47:55
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hqhbj77

铁杆木虫 (正式写手)


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是不是拍照时相散没有调好呀?
9楼2016-09-03 10:12:14
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