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南小宸ninasu

新虫 (初入文坛)

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[交流] 电极电镜（SEM）照的时候图案晃动发虚已有6人参与

Q1.电极电镜（SEM）照的时候图案晃动发虚，根本拍不到东西，是没有固定好的问题吗？底座直接放在样品台上再粘，还是样品台上粘一层胶，底座再放上去？
Q2.电极应该能承受3kV的电子束吧。
Q3.电极是否喷金？

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1楼 2016-08-29 15:45:58

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南小宸ninasu

新虫 (初入文坛)

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引用回帖:

2楼: Originally posted by corrtest at 2016-08-29 17:05:39
A1.一般是用导电胶把电极和底座粘起来，不知道近两年有没有新的操作变化。图案发虚，可能是对焦没对好。
A2.这个要依据经验。
A3.电极应该有修饰吧？喷不喷金要看你电极的导电性怎么样了，导电性不好就需要喷金。

谢谢您的回复。是底座直接放在样品台上再粘对吗？好像我确实粘错了……