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电极电镜(SEM)照的时候图案晃动发虚 已有6人参与
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Q1.电极电镜(SEM)照的时候图案晃动发虚,根本拍不到东西,是没有固定好的问题吗?底座直接放在样品台上再粘,还是样品台上粘一层胶,底座再放上去? Q2.电极应该能承受3kV的电子束吧。 Q3.电极是否喷金? |
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corrtest
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2楼2016-08-29 17:05:39
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3楼2016-08-29 19:22:15
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粘不粘随便,只要能保证导电性,晃动的话很有可能是样品有孔隙,放气导致真空度下降。虚像如果聚焦,微调都没问题的话,有可能是灯丝用久了。 发自小木虫IOS客户端 |
6楼2016-09-01 19:25:53
gxytju2008
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