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电极电镜(SEM)照的时候图案晃动发虚
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南小宸ninasu
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电极电镜(SEM)照的时候图案晃动发虚
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Q1.电极电镜(SEM)照的时候图案晃动发虚,根本拍不到东西,是没有固定好的问题吗?底座直接放在样品台上再粘,还是样品台上粘一层胶,底座再放上去?
Q2.电极应该能承受3kV的电子束吧。
Q3.电极是否喷金?
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1楼
2016-08-29 15:45:58
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gxytju2008
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固定不好或者是导电性不好,个人感觉导电性更有可能一些
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7楼
2016-09-02 12:53:48
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corrtest
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A1.一般是用导电胶把电极和底座粘起来,不知道近两年有没有新的操作变化。图案发虚,可能是对焦没对好。
A2.这个要依据经验。
A3.电极应该有修饰吧?喷不喷金要看你电极的导电性怎么样了, 导电性不好就需要喷金。
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2楼
2016-08-29 17:05:39
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xzpsb
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小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
楼上基本都说了,拍的时候图片晃动发虚是热效应导致的,我记得拍的时候老师讲过
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君子居不求安,食无求饱
3楼
2016-08-29 19:22:15
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南小宸ninasu
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2楼
:
Originally posted by
corrtest
at 2016-08-29 17:05:39
A1.一般是用导电胶把电极和底座粘起来,不知道近两年有没有新的操作变化。图案发虚,可能是对焦没对好。
A2.这个要依据经验。
A3.电极应该有修饰吧?喷不喷金要看你电极的导电性怎么样了, 导电性不好就需要喷金。
谢谢您的回复。是底座直接放在样品台上再粘对吗?好像我确实粘错了……
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4楼
2016-08-30 09:53:37
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