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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 专业学科区 » 物理 » 凝聚态物理 » 磁控溅射制备的NbTiN薄膜应力比较大，什么原因引起的
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tiger_2012

金虫 (小有名气)

[求助] 磁控溅射制备的NbTiN薄膜应力比较大，什么原因引起的 已有1人参与

磁控溅射在Si+SiO2衬底上生长的NbTiN薄膜，300nm厚的拿出来就起皮，改变溅射气压从0.3Pa到0.7Pa，影响不大，用NbTi合金靶材，溅射时通Ar：N2=8.5比例制备
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薄膜制备与特性 薄膜材料和器件制备

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1楼 2016-07-08 16:21:52
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usst1

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
可能衬底与薄膜晶格失配过大?!
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2楼2016-07-09 02:29:45
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flashxu0119

至尊木虫 (著名写手)
衬底加热试试呢？没做过这个材料

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3楼2016-07-09 03:38:10
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tiger_2012

金虫 (小有名气)
引用回帖:
2楼: Originally posted by usst1 at 2016-07-09 02:29:45
可能衬底与薄膜晶格失配过大?!

文献上没有看到说在Si衬底上应力很大的
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4楼2016-07-11 16:10:10
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tiger_2012

金虫 (小有名气)
引用回帖:
3楼: Originally posted by flashxu0119 at 2016-07-09 03:38:10
衬底加热试试呢？没做过这个材料

加热试了，有的起皮，有的不起皮
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5楼2016-07-11 16:13:02
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kammury

木虫 (著名写手)

吃瓜美猴王
是不是偏压太大了？

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Tigers.in.the.Mud.
6楼2016-07-12 07:00:03
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yjyang07

木虫 (著名写手)
薄膜不能浸润衬底的缘故

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天行健，君子以自强不息～～～～～
7楼2016-07-12 20:06:16
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fpei_csu

银虫 (小有名气)
残余应力过大造成的吧，把偏压调低点，基体加热

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8楼2016-07-17 18:09:33
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tiger_2012

金虫 (小有名气)
引用回帖:
8楼: Originally posted by fpei_csu at 2016-07-17 18:09:33
残余应力过大造成的吧，把偏压调低点，基体加热

没有加偏压
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9楼2016-07-20 09:09:54
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lqm070

铁杆木虫 (著名写手)
降低偏压是什么缘由？加温速率控制过吗？过冷度可能导致，没做过试试

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10楼2016-07-27 07:16:09
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