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tiger_2012

金虫 (小有名气)

[求助] 磁控溅射制备的NbTiN薄膜应力比较大,什么原因引起的 已有1人参与

磁控溅射在Si+SiO2衬底上生长的NbTiN薄膜,300nm厚的拿出来就起皮,改变溅射气压从0.3Pa到0.7Pa,影响不大,用NbTi合金靶材,溅射时通Ar:N2=8.5比例制备
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tiger_2012

金虫 (小有名气)

引用回帖:
2楼: Originally posted by usst1 at 2016-07-09 02:29:45
可能衬底与薄膜晶格失配过大?!

文献上没有看到说在Si衬底上应力很大的
4楼2016-07-11 16:10:10
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usst1

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
可能衬底与薄膜晶格失配过大?!
2楼2016-07-09 02:29:45
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flashxu0119

至尊木虫 (著名写手)

衬底加热试试呢?没做过这个材料

发自小木虫IOS客户端
3楼2016-07-09 03:38:10
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tiger_2012

金虫 (小有名气)

引用回帖:
3楼: Originally posted by flashxu0119 at 2016-07-09 03:38:10
衬底加热试试呢?没做过这个材料

加热试了,有的起皮,有的不起皮
5楼2016-07-11 16:13:02
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