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tiger_2012金虫 (小有名气)
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[求助]
磁控溅射制备的NbTiN薄膜应力比较大，什么原因引起的 已有1人参与
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| 磁控溅射在Si+SiO2衬底上生长的NbTiN薄膜，300nm厚的拿出来就起皮，改变溅射气压从0.3Pa到0.7Pa，影响不大，用NbTi合金靶材，溅射时通Ar：N2=8.5比例制备 |
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 薄膜制备与特性 | 薄膜材料和器件制备 |
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