| 查看: 2388 | 回复: 11 | ||||
| 当前只显示满足指定条件的回帖，点击这里查看本话题的所有回帖 | ||||
tiger_2012金虫 (小有名气)
|
[求助]
磁控溅射制备的NbTiN薄膜应力比较大，什么原因引起的 已有1人参与
|
|||
| 磁控溅射在Si+SiO2衬底上生长的NbTiN薄膜，300nm厚的拿出来就起皮，改变溅射气压从0.3Pa到0.7Pa，影响不大，用NbTi合金靶材，溅射时通Ar：N2=8.5比例制备 |
回复此楼» 收录本帖的淘帖专辑推荐
 薄膜制备与特性 | 薄膜材料和器件制备 |
» 猜你喜欢
310求调剂
已经有12人回复
-
290求调剂
已经有7人回复
-
电气专硕320求调剂
已经有5人回复
-
一志愿西北工业大学289 085602
已经有33人回复
-
一志愿哈工大 085600 277 12材科基求调剂
已经有24人回复
-
268分085602化学工程调剂
已经有28人回复
-
化学工程调剂289
已经有50人回复
-
求调剂，262机械专硕
已经有8人回复
-
305求调剂
已经有6人回复
-
327求调剂
已经有5人回复
tiger_2012
金虫 (小有名气)
- 应助: 3 (幼儿园)
- 金币: 2027.3
- 帖子: 168
- 在线: 48.3小时
- 虫号: 2107147
- 注册: 2012-11-05
- 专业: 凝聚态物性 II ：电子结构
9楼2016-07-20 09:09:54
usst1
木虫 (正式写手)
- 应助: 1 (幼儿园)
- 金币: 4073.5
- 散金: 150
- 帖子: 355
- 在线: 319.7小时
- 虫号: 590020
- 注册: 2008-08-30
- 专业: 凝聚态物性 II ：电子结构
2楼2016-07-09 02:29:45
flashxu0119
至尊木虫 (著名写手)
- 应助: 10 (幼儿园)
- 金币: 15161.3
- 散金: 168
- 红花: 2
- 帖子: 2969
- 在线: 342.2小时
- 虫号: 465080
- 注册: 2007-11-22
- 性别: GG
- 专业: 凝聚态物性 II ：电子结构
3楼2016-07-09 03:38:10
tiger_2012
金虫 (小有名气)
- 应助: 3 (幼儿园)
- 金币: 2027.3
- 帖子: 168
- 在线: 48.3小时
- 虫号: 2107147
- 注册: 2012-11-05
- 专业: 凝聚态物性 II ：电子结构
4楼2016-07-11 16:10:10
10