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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 学术讨论 » 扫描电镜成分与实际成分差别
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ustbyunshang

金虫 (正式写手)

[交流] 扫描电镜成分与实际成分差别 已有5人参与

做电镜扫描可以进行面扫描，那么面扫描的结果a与实际的试样成分b之间是怎样的关系呢？是a≈b呢，还是a^(1/2)≈b^(1/3)呢？
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1楼 2016-07-05 11:38:56
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bamboo024

银虫 (小有名气)
★
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粗略的计算，a≈b，但是价态是在电镜中无法测量的，所以一般情况下是获得元素比。
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2楼2016-07-06 08:28:49
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ustbyunshang

金虫 (正式写手)
引用回帖:
2楼: Originally posted by bamboo024 at 2016-07-06 08:28:49
粗略的计算，a≈b，但是价态是在电镜中无法测量的，所以一般情况下是获得元素比。

实际测量的元素含量不应该是三维的，二维扫描的面元素分布能说明是试样元素比例么。如果各向同性，一维线扫描和二维面扫描成分也应该有差异吧

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3楼2016-07-06 10:57:22
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gxytju2008

专家顾问 (文坛精英)
★
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含量肯定都是三维的，z向深度由测试方法决定，完全的二维是不太可能的，尤其对于eds这种技术，z向深度至少是微米级别
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4楼2016-07-06 17:36:34
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水月听风

木虫 (著名写手)
★
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三维的，深度两微米左右

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5楼2016-07-07 06:27:15
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bamboo024

银虫 (小有名气)
★
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引用回帖:
3楼: Originally posted by ustbyunshang at 2016-07-06 10:57:22
实际测量的元素含量不应该是三维的，二维扫描的面元素分布能说明是试样元素比例么。如果各向同性，一维线扫描和二维面扫描成分也应该有差异吧
...

补充一下，一般如果是做复杂物相分析，例如矿相，夹杂物等，局部面扫（代替打点，也仅比点大那么一点，防止不巧打偏），可以认为就是某一相的元素比。而如果大面积面扫或线扫，个人认为精度比XRF还差。仅供参考。
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6楼2016-07-07 08:09:10
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huaxze

铜虫 (正式写手)
★
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元素定量分析，电镜EDS是很不准确的。

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7楼2016-07-07 09:57:17
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常青竹

木虫 (正式写手)
★
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eds本身就是半定量的，用它表示含量没有说服力

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8楼2016-07-07 13:05:15
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gxytju2008

专家顾问 (文坛精英)
★
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引用回帖:
6楼: Originally posted by bamboo024 at 2016-07-07 08:09:10
补充一下，一般如果是做复杂物相分析，例如矿相，夹杂物等，局部面扫（代替打点，也仅比点大那么一点，防止不巧打偏），可以认为就是某一相的元素比。而如果大面积面扫或线扫，个人认为精度比XRF还差。仅供参考。...

理论上EDS就不能定量，XRF经过严格校准是可以的
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9楼2016-07-08 14:52:22
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