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沧海一梦纷纷

新虫 (正式写手)

[交流] 请问下有什么方法把薄膜和衬底分开,比如常见的硅衬底 已有4人参与

心力交瘁啊。。。。。。。。。。。
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雄心壮志变成只是想毕业而已
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wanghuaxing

禁虫 (小有名气)


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2楼2016-07-04 22:40:07
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沧海一梦纷纷

新虫 (正式写手)

雄心壮志变成只是想毕业而已
3楼2016-07-05 11:01:46
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yswyx

专家顾问 (著名写手)



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3楼: Originally posted by 沧海一梦纷纷 at 2016-07-05 11:01:46
PZT薄膜,大概15um

把PZT那一面和另外一个临时键合,然后把硅减薄后腐蚀掉。
最后解键合,把PZT拿下来。
比较麻烦就是了,比较容易碎。你的面积有多大啊。
4楼2016-07-05 13:32:02
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沧海一梦纷纷

新虫 (正式写手)

引用回帖:
4楼: Originally posted by yswyx at 2016-07-05 13:32:02
把PZT那一面和另外一个临时键合,然后把硅减薄后腐蚀掉。
最后解键合,把PZT拿下来。
比较麻烦就是了,比较容易碎。你的面积有多大啊。...

大概有20*30mm吧,为什么不能直接把硅腐蚀掉?
雄心壮志变成只是想毕业而已
5楼2016-07-05 14:48:31
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下一站,守候

新虫 (小有名气)


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什么膜,激光剥离可以吗?

发自小木虫Android客户端
6楼2016-07-08 18:55:57
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沧海一梦纷纷

新虫 (正式写手)

引用回帖:
6楼: Originally posted by 下一站,守候 at 2016-07-08 18:55:57
什么膜,激光剥离可以吗?

PZT膜,极光剥离成本是不是太高。。。
雄心壮志变成只是想毕业而已
7楼2016-07-11 09:41:07
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1174895362

新虫 (小有名气)


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引用回帖:
5楼: Originally posted by 沧海一梦纷纷 at 2016-07-05 14:48:31
大概有20*30mm吧,为什么不能直接把硅腐蚀掉?...

腐蚀硅衬底应该可以吧,你试了吗,用氢氟酸煮就可以,不过你的PZT耐腐蚀吗
8楼2016-07-14 16:29:33
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沧海一梦纷纷

新虫 (正式写手)

引用回帖:
8楼: Originally posted by 1174895362 at 2016-07-14 16:29:33
腐蚀硅衬底应该可以吧,你试了吗,用氢氟酸煮就可以,不过你的PZT耐腐蚀吗...

就是不知道其耐腐蚀才头痛啊。。。。。
雄心壮志变成只是想毕业而已
9楼2016-07-14 19:19:42
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1174895362

新虫 (小有名气)

引用回帖:
9楼: Originally posted by 沧海一梦纷纷 at 2016-07-14 19:19:42
就是不知道其耐腐蚀才头痛啊。。。。。...

估计会比硅先腐蚀掉
10楼2016-07-15 09:58:43
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