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沧海一梦纷纷

新虫 (正式写手)

[交流] 请问下有什么方法把薄膜和衬底分开,比如常见的硅衬底 已有4人参与

心力交瘁啊。。。。。。。。。。。
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雄心壮志变成只是想毕业而已
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沧海一梦纷纷

新虫 (正式写手)

引用回帖:
4楼: Originally posted by yswyx at 2016-07-05 13:32:02
把PZT那一面和另外一个临时键合,然后把硅减薄后腐蚀掉。
最后解键合,把PZT拿下来。
比较麻烦就是了,比较容易碎。你的面积有多大啊。...

大概有20*30mm吧,为什么不能直接把硅腐蚀掉?
雄心壮志变成只是想毕业而已
5楼2016-07-05 14:48:31
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wanghuaxing

禁虫 (小有名气)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
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2楼2016-07-04 22:40:07
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沧海一梦纷纷

新虫 (正式写手)

雄心壮志变成只是想毕业而已
3楼2016-07-05 11:01:46
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yswyx

专家顾问 (著名写手)



小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
引用回帖:
3楼: Originally posted by 沧海一梦纷纷 at 2016-07-05 11:01:46
PZT薄膜,大概15um

把PZT那一面和另外一个临时键合,然后把硅减薄后腐蚀掉。
最后解键合,把PZT拿下来。
比较麻烦就是了,比较容易碎。你的面积有多大啊。
4楼2016-07-05 13:32:02
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