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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 压电铁电材料 » 请问下有什么方法把薄膜和衬底分开，比如常见的硅衬底
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沧海一梦纷纷

新虫 (正式写手)

[交流] 请问下有什么方法把薄膜和衬底分开，比如常见的硅衬底 已有4人参与

心力交瘁啊。。。。。。。。。。。
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雄心壮志变成只是想毕业而已
1楼 2016-07-04 19:39:52
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wanghuaxing

禁虫 (小有名气)
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本帖内容被屏蔽
2楼2016-07-04 22:40:07
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沧海一梦纷纷

新虫 (正式写手)
PZT薄膜，大概15um

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雄心壮志变成只是想毕业而已
3楼2016-07-05 11:01:46
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yswyx

专家顾问 (著名写手)
★
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3楼: Originally posted by 沧海一梦纷纷 at 2016-07-05 11:01:46
PZT薄膜，大概15um

把PZT那一面和另外一个临时键合，然后把硅减薄后腐蚀掉。
最后解键合，把PZT拿下来。
比较麻烦就是了，比较容易碎。你的面积有多大啊。
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4楼2016-07-05 13:32:02
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沧海一梦纷纷

新虫 (正式写手)
引用回帖:
4楼: Originally posted by yswyx at 2016-07-05 13:32:02
把PZT那一面和另外一个临时键合，然后把硅减薄后腐蚀掉。
最后解键合，把PZT拿下来。
比较麻烦就是了，比较容易碎。你的面积有多大啊。...

大概有20*30mm吧，为什么不能直接把硅腐蚀掉？
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雄心壮志变成只是想毕业而已
5楼2016-07-05 14:48:31
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下一站，守候

新虫 (小有名气)
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什么膜，激光剥离可以吗？

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6楼2016-07-08 18:55:57
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沧海一梦纷纷

新虫 (正式写手)
引用回帖:
6楼: Originally posted by 下一站，守候 at 2016-07-08 18:55:57
什么膜，激光剥离可以吗？

PZT膜，极光剥离成本是不是太高。。。
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雄心壮志变成只是想毕业而已
7楼2016-07-11 09:41:07
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1174895362

新虫 (小有名气)
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引用回帖:
5楼: Originally posted by 沧海一梦纷纷 at 2016-07-05 14:48:31
大概有20*30mm吧，为什么不能直接把硅腐蚀掉？...

腐蚀硅衬底应该可以吧，你试了吗，用氢氟酸煮就可以，不过你的PZT耐腐蚀吗
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8楼2016-07-14 16:29:33
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沧海一梦纷纷

新虫 (正式写手)
引用回帖:
8楼: Originally posted by 1174895362 at 2016-07-14 16:29:33
腐蚀硅衬底应该可以吧，你试了吗，用氢氟酸煮就可以，不过你的PZT耐腐蚀吗...

就是不知道其耐腐蚀才头痛啊。。。。。
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雄心壮志变成只是想毕业而已
9楼2016-07-14 19:19:42
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1174895362

新虫 (小有名气)
引用回帖:
9楼: Originally posted by 沧海一梦纷纷 at 2016-07-14 19:19:42
就是不知道其耐腐蚀才头痛啊。。。。。...

估计会比硅先腐蚀掉
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10楼2016-07-15 09:58:43
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