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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 压电铁电材料 » 请问下有什么方法把薄膜和衬底分开，比如常见的硅衬底
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yswyx

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引用回帖:
5楼: Originally posted by 沧海一梦纷纷 at 2016-07-05 14:48:31
大概有20*30mm吧，为什么不能直接把硅腐蚀掉？...

直接腐蚀的话，PZT估计很难抗住。所以先做临时键合，把PZT保护起来，然后减薄硅，这样可以有效的减少最后腐蚀的时间。
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11楼2016-07-22 11:42:51
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