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小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
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5楼: Originally posted by 沧海一梦纷纷 at 2016-07-05 14:48:31
大概有20*30mm吧,为什么不能直接把硅腐蚀掉?...

直接腐蚀的话,PZT估计很难抗住。所以先做临时键合,把PZT保护起来,然后减薄硅,这样可以有效的减少最后腐蚀的时间。
11楼2016-07-22 11:42:51
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