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guotao019

新虫 (著名写手)

[求助] 请问SEM测试的结果该如何解释??? 已有1人参与

求大神指点!!!
如图:材料本身是SiC上磁控溅射的金属,一共三层,第一层是Ti(100nm, 熔点1668℃),第二层是TaSi2(300nm,熔点2200℃),最顶层是Pt(200nm,熔点1768℃)。
磁控溅射完后表面SEM照片如“as-deposited.png”所示,看起来比较平整。
经过1000℃/3min的退火后表面情况如“annealed.png”所示,表面呈微米级的交错的棍棒状,还有纳米级的金属颗粒。受限于设备分辨率,照片不够清晰。
想问退火后的表面形成的原因,最好能推荐几篇类似的论文做理论支撑。
谢谢!

请问SEM测试的结果该如何解释???
annealed.png


请问SEM测试的结果该如何解释???-1
as-deposited.png@comma@wacky1980
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guotao019

新虫 (著名写手)

引用回帖:
10楼: Originally posted by hope_2011 at 2016-08-03 05:30:34
成像原理如四楼所说,同一区域即使用BSE和SEI获得照片应该大致一样,BSE衬度明显,所以你这个应该是热处理过程中有氧化或者反应生成了新得组织!可以扫下XRD和EDX之类的
...

谢谢,这个金属有经过合金化,表面的确有氧化。不过表面的形貌是因为合金化呢还是氧化而形成的呢?

发自小木虫Android客户端
12楼2016-08-03 11:57:21
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qkd_wsr

木虫 (初入文坛)

学术不精,不懂
只是有个疑问,二次电子像和背散射电子像放一块比较真的合适吗?
2楼2016-07-01 17:34:41
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guotao019

新虫 (著名写手)

引用回帖:
2楼: Originally posted by qkd_wsr at 2016-07-01 17:34:41
学术不精,不懂
只是有个疑问,二次电子像和背散射电子像放一块比较真的合适吗?

谢谢提醒,这二者成像有什么区别吗?

发自小木虫Android客户端
3楼2016-07-01 17:58:49
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qkd_wsr

木虫 (初入文坛)

二次电子像主要用作形貌分析,对表面形貌敏感,背散射电子像主观察不同成分的的分布,它对原子序数敏感。如果我没记错的。

发自小木虫IOS客户端
4楼2016-07-02 07:49:56
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