| 查看: 4196 | 回复: 33 | |||
| 当前只显示满足指定条件的回帖，点击这里查看本话题的所有回帖 | |||
[求助]
有用过SU8负胶的吗？请教点操作上的问题。 已有7人参与
|
|||
|
有用过SU8负胶的吗？请教点操作上的问题。 以前其实自己在cleanroom里也做过不少光刻，最近在实验室搭了一套简易的做SU8负胶 的平台，包括近似平行光LED紫外光源、掩膜夹具、匀胶机、加热平台、通风橱、黄光 操作区等，但是操作中同学反映结果不稳定，主要有两个问题，我自己也不是特别确定 是什么问题，来本版请教一下，牛人请给指点，不胜感谢！ 第一个问题，有时候develop时刻蚀不完全，这种情况对双层曝光的上层尤其常见，留 下白色的东西长期去不掉，developer里面多泡半小时都去不掉，这个可以出现在完全 没feature的部位，如图，请问这个是什么东西啊？可能什么原因产生的？有什么办法 避免？ 第二个问题，有时候feature粘不牢，会掉下来，如图，这个有什么可能的原因？有什 么诀窍来改进？ 我再加些背景信息。我们用的SU8是Microchem的套装，包括2000.x的几种胶， developer，稀释剂，全部常温避光保存，定期分装出小份使用。室内湿度较高，有时 候达到68%，我们对这个比较疑虑，听说对操作不利，但是也不清楚究竟会产生那些后 果。硅片为大陆买的普通抛光8寸硅片，100晶向，切成小片用，使用前于浓硫酸内浸泡 数小时以上，再用纯水洗净甩干，150度烘干后使用。涂胶前不使用HMDS之类的 promoter处理，因为SU8的说明书就没说让用。前烘后烘等温度与时间依官方manual， develop时候先用用过的developer，再用新的developer冲净。  问题1  问题2  问题2 |
回复此楼» 收录本帖的淘帖专辑推荐
 微纳尺度全分析 |
» 猜你喜欢
院士团队-每届学生都优秀-高自由度-团队氛围好
已经有0人回复
-
求调剂
已经有3人回复
-
金属材料论文润色/翻译怎么收费?
已经有203人回复
-
化工学院（学院正式调剂群+联系方式）
已经有0人回复
-
化工学院（学院官方群）-院士团队招生-学生自由度高-培养模式成熟高效
已经有0人回复
-
黑龙江大学分析化学招调剂
已经有0人回复
-
武汉高校国家级人才团队招收材料，化学，纺织等专业硕士调剂生
已经有26人回复
-
纺大化工学院（官方群）-院士团队招生-学生自由度高发展好-培养模式成熟
已经有0人回复
-
温州大学化材学院王娟课题组招生
已经有5人回复
-
学院官方群-院士团队招生-学生自由度高-培养模式成熟已有10余名学生赴985海外深造
已经有0人回复
-
武汉纺织大学化工学院官方群-院士团队招生-学生自由度高-10余名学生赴985海外深造
已经有0人回复
送红花一朵 
7楼2016-06-15 09:26:44
小小小徐
木虫 (正式写手)
- 应助: 18 (小学生)
- 金币: 2122.4
- 散金: 90
- 红花: 12
- 帖子: 487
- 在线: 162.1小时
- 虫号: 2591553
- 注册: 2013-08-11
- 性别: GG
- 专业: 分析化学
【答案】应助回帖
感谢参与，应助指数 +1
|
问题可能出现在好多地方…只能排除法了。我们实验室以前也有，图案一吹或者一碰就掉，后来发现和硅片泡食人鱼洗液时间有很大关系，泡完丙酮，醇，水洗然后烘干立即用，放久了也不行。 然后就是环境湿度大，要注意胶的密闭性啊 发自小木虫IOS客户端 |
2楼2016-06-14 22:37:06
小小小徐
木虫 (正式写手)
- 应助: 18 (小学生)
- 金币: 2122.4
- 散金: 90
- 红花: 12
- 帖子: 487
- 在线: 162.1小时
- 虫号: 2591553
- 注册: 2013-08-11
- 性别: GG
- 专业: 分析化学
3楼2016-06-14 22:43:42
4楼2016-06-14 22:48:04
