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548446557

金虫 (正式写手)

[求助] 类金刚石碳膜纳米压痕已有1人参与

类金刚石碳膜表征硬度时,文献要求都是压入深度不能超过膜厚度的10%,这样1um的膜则必须压入小于100nm,可是实验的纳米压痕达不到要求,求告知你们如何处理的?谢谢
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548446557

金虫 (正式写手)

引用回帖:
7楼: Originally posted by Q89285139 at 2016-06-14 10:44:00
我们最薄的做过200nm,只是测了厚度。其它的没测。
我们是用CVD做的类金刚石薄膜。最厚的可以做到3mm...

如果按照十分之一的说法,那你们的3微米膜测硬度,你们是不是只压入300nm以内

发自小木虫Android客户端
8楼2016-06-14 17:28:27
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Q89285139

铜虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
感谢参与,应助指数 +1
548446557: 金币+15, ★★★很有帮助 2016-06-14 17:27:12
压深多少是多少,尽量控制10%以下,然后多压多测,求个平均值。
我们就是这么出来的。
不过你这个才1um,是不是太薄了,不太好测。你可以弄个10um再测啊
2楼2016-06-13 09:37:25
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548446557

金虫 (正式写手)

引用回帖:
2楼: Originally posted by Q89285139 at 2016-06-13 09:37:25
压深多少是多少,尽量控制10%以下,然后多压多测,求个平均值。
我们就是这么出来的。
不过你这个才1um,是不是太薄了,不太好测。你可以弄个10um再测啊

压了一次50nm,没有数据产生,因为太薄了,你们最薄能做多少?你们的也是类金刚石碳膜吗?可以做到10微米?
3楼2016-06-13 13:01:32
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548446557

金虫 (正式写手)

6楼2016-06-14 09:22:17
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