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类金刚石碳膜纳米压痕已有1人参与
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| 类金刚石碳膜表征硬度时，文献要求都是压入深度不能超过膜厚度的10%，这样1um的膜则必须压入小于100nm，可是实验的纳米压痕达不到要求，求告知你们如何处理的？谢谢 |
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