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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 无机非金属 » 碳素材料 » 类金刚石碳膜纳米压痕
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548446557

金虫 (正式写手)

[求助] 类金刚石碳膜纳米压痕 已有1人参与

类金刚石碳膜表征硬度时，文献要求都是压入深度不能超过膜厚度的10%，这样1um的膜则必须压入小于100nm，可是实验的纳米压痕达不到要求，求告知你们如何处理的？谢谢
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1楼 2016-06-12 22:14:55
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548446557

金虫 (正式写手)
引用回帖:
2楼: Originally posted by Q89285139 at 2016-06-13 09:37:25
压深多少是多少，尽量控制10%以下，然后多压多测，求个平均值。
我们就是这么出来的。
不过你这个才1um,是不是太薄了，不太好测。你可以弄个10um再测啊

压了一次50nm，没有数据产生，因为太薄了，你们最薄能做多少？你们的也是类金刚石碳膜吗？可以做到10微米？
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3楼2016-06-13 13:01:32
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Q89285139

铜虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
548446557: 金币+15, ★★★很有帮助 2016-06-14 17:27:12
压深多少是多少，尽量控制10%以下，然后多压多测，求个平均值。
我们就是这么出来的。
不过你这个才1um,是不是太薄了，不太好测。你可以弄个10um再测啊
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2楼2016-06-13 09:37:25
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548446557

金虫 (正式写手)
顶

发自小木虫Android客户端
6楼2016-06-14 09:22:17
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Q89285139

铜虫 (初入文坛)
引用回帖:
3楼: Originally posted by 548446557 at 2016-06-13 13:01:32
压了一次50nm，没有数据产生，因为太薄了，你们最薄能做多少？你们的也是类金刚石碳膜吗？可以做到10微米？...

我们最薄的做过200nm，只是测了厚度。其它的没测。
我们是用CVD做的类金刚石薄膜。最厚的可以做到3mm
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7楼2016-06-14 10:44:00
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