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lfk03006

木虫 (职业作家)


[交流] 请教大家去除残胶(PMMA)的方法

本人用CVD法在铜基上生长石墨烯,然后用旋涂PMMA+刻蚀的方法把石墨烯转移到硅片上,再用丙酮+异丙醇去除PMMA,但是发现PMMA根本无法完全去除干净(在光学显微镜或者原子力显微镜下可以清楚的看到很多的残胶)以至于影响到后续的工艺,在此请教大家有没有什么简单可行的方法去除残胶(退火是其中一个方法),欢迎大家不吝指点。
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lvyiyilv

木虫 (职业作家)



小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
N2和H2中400度以下退火,低压
退火后2D峰与G峰强度比变小很多,掺杂变重
PMMA无法完全清楚干净
23楼2016-05-11 19:50:55
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微晶石墨烯

禁虫 (初入文坛)


lfk03006(金币+1): 谢谢参与
本帖内容被屏蔽

11楼2016-05-07 16:41:10
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juvenok

至尊木虫 (职业作家)



lfk03006(金币+1): 谢谢参与
CVD石墨烯万万不可退火,越退越脏。PMMA用丙酮如果觉得洗不干净可以用乙酸,效果略强

发自小木虫IOS客户端
15楼2016-05-07 17:25:39
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lfk03006

木虫 (职业作家)


引用回帖:
15楼: Originally posted by juvenok at 2016-05-07 17:25:39
CVD石墨烯万万不可退火,越退越脏。PMMA用丙酮如果觉得洗不干净可以用乙酸,效果略强

我的实验结果是:退火有改善,但是改善的空间不大
17楼2016-05-07 17:33:23
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lfk03006

木虫 (职业作家)


引用回帖:
11楼: Originally posted by 微晶石墨烯 at 2016-05-07 16:41:10
您好!就用国药的丙酮淋洗就行,多洗几遍。

我一般是换两次新液,浸泡时间半小时
18楼2016-05-07 17:34:05
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juvenok

至尊木虫 (职业作家)



小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
引用回帖:
17楼: Originally posted by lfk03006 at 2016-05-06 21:33:23
我的实验结果是:退火有改善,但是改善的空间不大...

CVD石墨烯表面有好多官能团和悬挂键的,高温下能和PMMA化合,容易越来越脏。所以一般只有机械剥离的石墨烯才退火。
另外DMSO浸泡CVD石墨烯可以短时间改善迁移率

发自小木虫IOS客户端
21楼2016-05-07 21:08:24
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aaccbbd

新虫 (初入文坛)



小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
用丙酮清洗就可以了
22楼2016-05-09 09:35:12
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zxb900326

新虫 (初入文坛)


24楼2016-05-11 23:39:49
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我是北纬北

铜虫 (正式写手)



小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
请问丙酮+异丙醇洗液就是用的分析纯吗,有配比要求吗

发自小木虫Android客户端
26楼2019-11-14 17:55:27
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静哥哥

铁杆木虫 (著名写手)



小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
请问楼主现在去胶 去得干净吗?您后面怎么处理的呢
27楼2020-07-19 19:18:39
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speedangle

金虫 (小有名气)


引用回帖:
15楼: Originally posted by juvenok at 2016-05-07 17:25:39
CVD石墨烯万万不可退火,越退越脏。PMMA用丙酮如果觉得洗不干净可以用乙酸,效果略强

敢问为何。求指教。

[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
28楼2021-01-21 00:16:19
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V汇志达助剂

禁虫 (小有名气)

本帖内容被屏蔽

29楼2021-01-21 17:38:11
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2016-05-07 15:34   回复  
lfk03006(金币+1): 谢谢参与
2016-05-07 15:38   回复  
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syhorchid6楼
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laom20139楼
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yuzhuce10楼
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tzynew12楼
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tzynew13楼
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