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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 请教大家去除残胶（PMMA）的方法
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lfk03006

木虫 (职业作家)

[交流] 请教大家去除残胶（PMMA）的方法

本人用CVD法在铜基上生长石墨烯，然后用旋涂PMMA+刻蚀的方法把石墨烯转移到硅片上，再用丙酮+异丙醇去除PMMA，但是发现PMMA根本无法完全去除干净（在光学显微镜或者原子力显微镜下可以清楚的看到很多的残胶）以至于影响到后续的工艺，在此请教大家有没有什么简单可行的方法去除残胶（退火是其中一个方法），欢迎大家不吝指点。
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1楼 2016-05-07 15:27:16
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lvyiyilv

木虫 (职业作家)
★
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N2和H2中400度以下退火，低压
退火后2D峰与G峰强度比变小很多，掺杂变重
PMMA无法完全清楚干净
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23楼2016-05-11 19:50:55
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微晶石墨烯

禁虫 (初入文坛)
★
lfk03006(金币+1): 谢谢参与
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11楼2016-05-07 16:41:10
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juvenok

至尊木虫 (职业作家)
★
lfk03006(金币+1): 谢谢参与
CVD石墨烯万万不可退火，越退越脏。PMMA用丙酮如果觉得洗不干净可以用乙酸，效果略强

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15楼2016-05-07 17:25:39
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lfk03006

木虫 (职业作家)
引用回帖:
15楼: Originally posted by juvenok at 2016-05-07 17:25:39
CVD石墨烯万万不可退火，越退越脏。PMMA用丙酮如果觉得洗不干净可以用乙酸，效果略强

我的实验结果是：退火有改善，但是改善的空间不大
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17楼2016-05-07 17:33:23
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lfk03006

木虫 (职业作家)
引用回帖:
11楼: Originally posted by 微晶石墨烯 at 2016-05-07 16:41:10
您好！就用国药的丙酮淋洗就行，多洗几遍。

我一般是换两次新液，浸泡时间半小时
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18楼2016-05-07 17:34:05
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juvenok

至尊木虫 (职业作家)
★
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引用回帖:
17楼: Originally posted by lfk03006 at 2016-05-06 21:33:23
我的实验结果是：退火有改善，但是改善的空间不大...

CVD石墨烯表面有好多官能团和悬挂键的，高温下能和PMMA化合，容易越来越脏。所以一般只有机械剥离的石墨烯才退火。
另外DMSO浸泡CVD石墨烯可以短时间改善迁移率

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21楼2016-05-07 21:08:24
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aaccbbd

新虫 (初入文坛)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
用丙酮清洗就可以了
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22楼2016-05-09 09:35:12
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zxb900326

新虫 (初入文坛)
世界性难题

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24楼2016-05-11 23:39:49
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我是北纬北

铜虫 (正式写手)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
请问丙酮+异丙醇洗液就是用的分析纯吗，有配比要求吗

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26楼2019-11-14 17:55:27
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静哥哥

铁杆木虫 (著名写手)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
请问楼主现在去胶 去得干净吗？您后面怎么处理的呢
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27楼2020-07-19 19:18:39
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speedangle

金虫 (小有名气)
引用回帖:
15楼: Originally posted by juvenok at 2016-05-07 17:25:39
CVD石墨烯万万不可退火，越退越脏。PMMA用丙酮如果觉得洗不干净可以用乙酸，效果略强

敢问为何。求指教。

[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
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28楼2021-01-21 00:16:19
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V汇志达助剂

禁虫 (小有名气)
本帖内容被屏蔽
29楼2021-01-21 17:38:11
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yangdw1234582楼
2016-05-07 15:34   回复  
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天涯20123楼
2016-05-07 15:38   回复  
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slytjiaofei4楼
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chlq314101a5楼
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syhorchid6楼
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tzynew12楼
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tan91414楼
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