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请教大家去除残胶（PMMA）的方法
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| 本人用CVD法在铜基上生长石墨烯，然后用旋涂PMMA+刻蚀的方法把石墨烯转移到硅片上，再用丙酮+异丙醇去除PMMA，但是发现PMMA根本无法完全去除干净（在光学显微镜或者原子力显微镜下可以清楚的看到很多的残胶）以至于影响到后续的工艺，在此请教大家有没有什么简单可行的方法去除残胶（退火是其中一个方法），欢迎大家不吝指点。 |
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23楼2016-05-11 19:50:55
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11楼2016-05-07 16:41:10
15楼2016-05-07 17:25:39
17楼2016-05-07 17:33:23
18楼2016-05-07 17:34:05
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CVD石墨烯表面有好多官能团和悬挂键的，高温下能和PMMA化合，容易越来越脏。所以一般只有机械剥离的石墨烯才退火。 另外DMSO浸泡CVD石墨烯可以短时间改善迁移率 发自小木虫IOS客户端 |
21楼2016-05-07 21:08:24
22楼2016-05-09 09:35:12
24楼2016-05-11 23:39:49
26楼2019-11-14 17:55:27
27楼2020-07-19 19:18:39
28楼2021-01-21 00:16:19
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29楼2021-01-21 17:38:11
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2016-05-07 15:34
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天涯20123楼
2016-05-07 15:38
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hbl2157楼
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laom20139楼
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yuzhuce10楼
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tzynew12楼
2016-05-07 16:59
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tzynew13楼
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