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lfk03006

木虫 (职业作家)

应助: 1 (幼儿园)
金币: 2632.8
帖子: 3945
在线: 591小时
虫号: 1033380

[交流] 请教大家去除残胶（PMMA）的方法

本人用CVD法在铜基上生长石墨烯，然后用旋涂PMMA+刻蚀的方法把石墨烯转移到硅片上，再用丙酮+异丙醇去除PMMA，但是发现PMMA根本无法完全去除干净（在光学显微镜或者原子力显微镜下可以清楚的看到很多的残胶）以至于影响到后续的工艺，在此请教大家有没有什么简单可行的方法去除残胶（退火是其中一个方法），欢迎大家不吝指点。

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1楼 2016-05-07 15:27:16

已阅回复此楼关注TA 给TA发消息送TA红花 TA的回帖

juvenok

至尊木虫 (职业作家)

应助: 32 (小学生)
金币: 33227.6
帖子: 3673
在线: 1395.5小时
虫号: 961123

★
lfk03006(金币+1): 谢谢参与

CVD石墨烯万万不可退火，越退越脏。PMMA用丙酮如果觉得洗不干净可以用乙酸，效果略强

发自小木虫IOS客户端

15楼2016-05-07 17:25:39

已阅回复此楼关注TA 给TA发消息送TA红花 TA的回帖

查看全部 29 个回答

微晶石墨烯

禁虫 (初入文坛)

★
lfk03006(金币+1): 谢谢参与

本帖内容被屏蔽

11楼2016-05-07 16:41:10

已阅回复此楼关注TA 给TA发消息送TA红花 TA的回帖

简单回复

chlq314101a5楼

2016-05-07 15:56 回复

lfk03006(金币+1): 谢谢参与

yuzhuce10楼

2016-05-07 16:35 回复

lfk03006(金币+1): 谢谢参与

祝福发自小木虫IOS客户端

查看全部 29 个回答