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请教大家去除残胶(PMMA)的方法
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lfk03006
木虫
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[交流]
请教大家去除残胶(PMMA)的方法
本人用CVD法在铜基上生长石墨烯,然后用旋涂PMMA+刻蚀的方法把石墨烯转移到硅片上,再用丙酮+异丙醇去除PMMA,但是发现PMMA根本无法完全去除干净(在光学显微镜或者原子力显微镜下可以清楚的看到很多的残胶)以至于影响到后续的工艺,在此请教大家有没有什么简单可行的方法去除残胶(退火是其中一个方法),欢迎大家不吝指点。
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2016-05-07 16:41:10
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